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微观装置的制造及其处理技术
  • 一种MEMS压力传感器及其制备方法、电子装置
    一种MEMS压力传感器及其制备方法、电子装置_华润微电子控股有限公司_202311608778.6
    提供一种MEMS压力传感器及其制备方法、电子装置，该方法包括：提供第一衬底与第二衬底，在第一衬底上依次形成有第一感压膜层、第一牺牲层与第一子电极层，在第二衬底上依次形成有第二感压膜层、第二牺牲层与第二支撑层；分别刻蚀第一子电极层与第二支撑层...
    2025-05-31
  • MEMS设备
    MEMS设备_罗伯特·博世有限公司_202411723122.3
    本发明涉及一种MEMS设备(10)，所述MEMS设备具有衬底(12)、膜片(14)、空腔(16)和加热元件(18)，所述空腔布置在所述衬底(12)与所述膜片(14)的至少一部分之间，所述加热元件位于所述空腔(16)中，其特征在于，所述加热元...
    2025-05-31
  • 集成加热电阻及导线的悬臂梁的加工方法
    集成加热电阻及导线的悬臂梁的加工方法_天津华信泰科技有限公司_202510175847.1
    集成加热电阻及导线的悬臂梁的加工方法，将发热电阻和低电阻金属导线集成到了悬臂梁薄膜中，解决了金属电路与聚酰亚胺薄膜粘附性差、受震动易开裂等问题，同时实现了超薄聚酰亚胺薄膜正面与背面的电路导通，悬臂梁在与MEMS器件焊接集成后，为MEMS器件...
    2025-05-31
  • 一种多电子束光刻装备电子光学系统结构及其制造方法
    一种多电子束光刻装备电子光学系统结构及其制造方法_湖南大学_202411973462.1
    本发明公开了一种多电子束光刻装备中的MEMS基电子光学系统结构及制造方法，其中MEMS器件中电子光学系统结构为核心部件，其能够将入射在孔中电子束进行分束、收束、聚焦，并实现调节对中及像散的功能。通过控制芯片，利用传输线，传输线再与不同金属线...
    2025-05-31
  • 用于dPCR反应的微液滴阵列芯片的制备方法及微液滴阵列芯片
    用于dPCR反应的微液滴阵列芯片的制备方法及微液滴阵列芯片_宁波市尚维高科有限公司_202510090738.X
    本发明提供一种用于dPCR反应的微液滴阵列芯片的制备方法及微液滴阵列芯片，该方法包括：步骤1：在硅基衬底表面形成氮化硅层；步骤2：刻蚀氮化硅层及部分硅基衬底，以在硅基衬底上形成微井阵列；步骤3：在微井阵列的微井中形成二氧化硅层；步骤4：去除...
    2025-05-31
  • 一种MEMS器件及其制造方法、电子装置
    一种MEMS器件及其制造方法、电子装置_华润微电子控股有限公司_202311633930.6
    本发明公开了一种MEMS器件及其制造方法、电子装置，所述MEMS器件包括衬底、信号参考层、第一信号获取层、第二信号获取层、第三信号获取层和信号输出层，其中，信号参考层连接至衬底以与衬底同步运动，信号参考层与衬底之间有间距；第一信号获取层与信...
    2025-05-31
  • 一种基于热交叉的多温度区微热板及制造方法
    一种基于热交叉的多温度区微热板及制造方法_山东工商学院_202510213808.6
    本发明属于MEMS技术领域，具体涉及一种基于热交叉的多温度区微热板及制造方法。所述微热板在支撑层上集成多个加热器，每个加热器对应一个工作区，通过调节各加热器的输入电压或电流实现温度控制；各工作区之间相互联通，进一步充分利用工作区之间的热交叉...
    2025-05-31
  • 一种电脑显卡用高密封存放装置
    一种电脑显卡用高密封存放装置_深圳市视兴科技有限公司_202421777419.3
    本实用新型公开了一种电脑显卡用高密封存放装置，包括箱体和箱盖，所述箱体内部固定连接内板，所述内板内部安装隔板，所述隔板呈等距分布形式，所述隔板内部固定连接网架，所述网架内部插入干燥剂包，所述网架呈对称分布形式，所述箱体外部安装排气口，所述排...
    2025-05-31
  • 一种恒温恒湿箱
    一种恒温恒湿箱_珠海汉姆诺德照明有限公司_202422517225.6
    本实用新型公开了一种恒温恒湿箱，包括箱体、调温机构和调湿机构，箱体：其前侧通过左侧合页铰接有箱门，调温机构：其包括通风腔、导流片、齿轮、齿条板和阻流片，所述通风腔均开设于箱体的顶壁壁体中部，导流片均转动连接于中部的通风腔的内部下端，齿轮均设...
    2025-05-31
  • 机动车锁
    机动车锁_凯毅德汽车系统(常熟)有限公司_202421922977.4
    提供了一种机动车锁，其包括锁定机构、电驱动装置、抬起杆、控制组件和外部释放杆。锁定机构包括转动锁叉和锁定爪；电驱动装置包括电机和输出元件，输出元件上设置有致动部，致动部在电机的驱动下能够随输出元件转动；抬起杆与锁定爪联接；控制组件适于与致动...
    2025-05-31
  • 一种集成柜
    一种集成柜_厦门巨嗨科技有限公司_202421788248.4
    本实用新型提供了一种集成柜，其包括：两个对称设置的柜体、第一连接架和第二连接架；两柜体从上至下依次均布置有前端敞开的第一放置空间、第二放置空间和第三放置空间，第一放置空间和第三放置空间适于放置音响；第一连接架在顶部连接两柜体，第一连接架在两...
    2025-05-31
  • 一种图案化制备叠层异质结构阵列的方法
    一种图案化制备叠层异质结构阵列的方法_北京蕴超仿生智能科技发展有限公司_202211076213.3
    本发明提供一种图案化制备叠层异质结构阵列的方法，首先利用一级毛细液桥制备第一层图案化的胶体量子点CQDs微纳阵列，再利用三维转移平台将第二层硅微柱模版与第一层图案化的基底进行任意可调方向的对准操作，滴入第二层胶体量子点CQDs的前驱体液利用...
    2025-05-31
  • 一种充气通道闭气增压型包装运输用充气气囊
    一种充气通道闭气增压型包装运输用充气气囊_广州派卫格包装材料实业有限公司_202510070652.0
    本发明公开一种充气通道闭气增压型包装运输用充气气囊，属于包装运输用充气气囊技术领域，它包括一条公共充气气道和多个并排布置的气囊体，公共充气气道与所述的气囊体连通，所述气囊体上设有逆止气阀A，气流通过公共充气气道经逆止气阀A进入气囊体中，所述...
    2025-05-31
  • 一种氮气型防潮柜
    一种氮气型防潮柜_加腾智能科技(常熟)有限公司_202421786008.0
    本实用新型公开了一种氮气型防潮柜，包括柜体和氮气供气管，柜体的内部设置有若干单元格，每个单元格的后板上开设有气孔，气孔上设有密封翻盖，每个单元格内均活动设有抽拉式托盘，抽拉式托盘靠近气孔的面上设有顶针，顶针可将密封翻盖顶开，氮气供气管连接气...
    2025-05-31
  • 测绘仪镜头防潮机构
    测绘仪镜头防潮机构_山东博林地理信息有限公司_202421763841.3
    本实用新型公开了测绘仪镜头防潮机构，所述防潮机构，其包括外壳、加热板和防潮包，所述外壳为环状结构，其外壳上设置有环状的安装腔，所述安装腔内安装有结构相适的加热板，以使所述板对所述外壳内侧镜头中的水汽加热，而所述外壳顶部固定安装有防潮箱，所述...
    2025-05-31
  • 一种具有暖风结构的套口机
    一种具有暖风结构的套口机_嘉兴萱然服饰有限公司_202421403625.8
    本实用新型公开了一种具有暖风结构的套口机，包括工作台，所述工作台上方中部设有套口机本体，所述工作台位于套口机本体两侧均设有支撑板，两个所述支撑板上方设有加热箱，所述加热箱上端中部开设有两个对称的进风口，所述加热箱内位于进风口内部设有风机，所...
    2025-05-31
  • 一种石墨烯发热食品保温箱
    一种石墨烯发热食品保温箱_归壹生命科技(东莞)有限公司_202421834464.8
    本实用新型涉及食品保温技术领域，公开了一种石墨烯发热食品保温箱，包括箱体，所述箱体的一侧开设有两组插槽，且插槽贯穿至箱体的前端，两组所述插槽的内壁均滑动连接有除味板，且除味板的内部装有活性炭，所述除味板的前端固定连接有挡板。本实用新型通过向...
    2025-05-31
  • 样品制冷存储装置和样品存取方法
    样品制冷存储装置和样品存取方法_复崟(上海)科技有限公司_202510558573.4
    本公开的实施例公开了样品制冷存储装置和样品存取方法。该样品制冷存储装置包括控制模块、制冷存储模块、样品识别模块和样品运输模块，制冷存储模块包括制冷存储箱、制冷压缩机构和至少一个样品存放管；样品识别模块用于读取样品上的电子标签，得到样品信息；...
    2025-05-31
  • 一种电焊焊条成品储存装置
    一种电焊焊条成品储存装置_河北荣阳装饰工程有限公司_202421508414.0
    本实用新型公开了一种电焊焊条成品储存装置，涉及焊接设备技术领域，包括储存箱，干燥网设置于储存箱内部，拆装组件设置于干燥网外部，烘干组件设置于储存箱内部，储存箱内部底面固定安装有电机，电机的输出端顶面固定设置有转轴，转轴外侧固定设置有扇叶，本...
    2025-05-31
  • 一种碳纤维材料保存箱
    一种碳纤维材料保存箱_重庆迅昌新材料科技有限公司_202421971319.4
    本实用新型属于碳纤维材料保存技术领域，具体的说是一种碳纤维材料保存箱，包括箱体，箱体顶侧边缘处安装有伺服电机，伺服电机输出端安装有螺纹杆，螺纹杆外壁螺纹连接有连接块，连接块一侧通过销轴配合安装有连接杆一，连接杆二的一端通过转轴配合安装有固定...
    2025-05-31
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