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射频馈入结构及等离子体设备
本申请公开了一种射频馈入结构及等离子体设备,涉及半导体技术领域,射频馈入结构具体包括:射频馈入件、馈入连接组件和弹性导电件;射频馈入件将射频发生组件所产生的射频传导至馈入连接组件,馈入连接组件的第一连接端与射频馈入件连接以接收射频,馈入连接...
等离子刻蚀设备顶针结构
本发明公开了等离子刻蚀设备顶针结构,包括有升降板和若干顶针,升降板上设有活干径向滑轨,径向滑轨上安装有滑块,顶针的下端分别固定连接相应滑块,滑块上靠近升降板的中心的一侧转动安装有滑轮,另一侧设有弹簧,升降板的中心转动连接有转板,转板的外侧具...
用于向具有多等离子体状态的腔室传输射频功率的系统和方法
本发明涉及一种用于向具有多等离子体状态的腔室传输射频功率的系统和方法。该系统利用RF功率发生器中的直接频率生成来建立最佳操作频率。通过预先确定不同工艺步骤的谐振频率,该系统消除了传统PID控制回路的需求,从而实现了工艺步骤之间的快速转换,进...
一种等离子体处理装置及防止等离子体泄露的方法
本发明提供一种等离子体处理装置及防止等离子体泄露的方法,所述装置包括:反应腔,其内设有用于承载晶圆的基座,基座电性连接第一非恒压电源;约束环,其环绕设置在基座的外周,将反应腔内的空间分为等离子体处理区域和与外部抽真空装置连通的排气区域;约束...
一种离子束加工设备和方法
一种离子束加工设备,包括团簇室和控制装置,所述控制装置与团簇室连接,其特征在于:还包括设置在所述团簇室与控制装置之间的抽取组件,所述抽取组件包括离子源和与离子源连接的电场单元,所述电场单元与高压引线连接,所述电场单元在高压引线的作用下能够形...
一种电镜成像动态补偿系统、方法以及电子显微镜
本申请涉及电子显微镜技术领域,特别是涉及一种电镜成像动态补偿系统、方法以及电子显微镜。所述系统包括:位移监测模块用于监测位置数据;信号解算模块与位移监测模块相连接,用于接收位置数据并将位置数据转换为位移量信号并输出;主控模块与信号解算模块相...
电子束扫描聚焦成像系统及电子束控制方法
本申请涉及一种电子束扫描聚焦成像系统及电子束控制方法。该电子束扫描聚焦成像系统包括:电子束扫描聚焦成像装置和电子束偏转装置。电子束扫描聚焦成像装置用于响应第一探测指令或第二探测指令,聚焦偏转电子束至待测样品。电子束偏转装置用于响应第二探测指...
基于脉冲束流调制的一体式中和离子源及离子束抛光设备
本发明公开了一种基于脉冲束流调制的一体式中和离子源及离子束抛光设备,本发明的一体式中和离子源包括电离室、三栅离子光学组件、双极脉冲电源和直流电压源,所述三栅离子光学组件布置于电离室的离子束流出口处,所述三栅离子光学组件包括相互平行并间隙布置...
离子源
本发明涉及离子源,课题为不管离子源的动作状态如何,都从气化器对于等离子体生成室实施连续的蒸气供给。离子源(IS)具备:气化器(1),具有喷嘴(3);及被供给蒸气的等离子体生成室(14),该蒸气从气化器(1)通过喷嘴(3)而供给。喷嘴(3)配...
一种可插拔式熔断器
本发明涉及熔断器技术领域,公开了一种可插拔式熔断器,包括陶瓷底座,所述陶瓷底座的上端的中部开设有锥形卡槽,其中,在靠近进线孔一端的接线槽内安装有进线接线座,在靠近出线孔一端的接线槽内安装有出线接线座,所述进线U型导电片和出线U型导电片之间连...
一种井下供电系统预警装置
本发明公开了一种井下供电系统预警装置,涉及供电开关技术领域,解决了工作人员难以及时的对隔离开关结构进行检修和维护的问题。同时解决了开关结构的动触点位置容易因为多次插拔的作用力而影响接触面积和导电能力的问题。本发明的井下供电系统预警装置,包括...
一种塑壳断路器电气绝缘结构
一种塑壳断路器电气绝缘结构,它包括连杆组件(1),所述连杆组件(1)在操作手柄组件(2)的带动下能够驱动转轴(3)转动,动触头(4)装在所述转轴(3)上,其特征在于:所述动触头(4)的表面包覆有绝缘件(5)用以增加其与断路器连杆组件(1)的...
一种具有多节点断电保护功能的断路器
本发明涉及电气安全保护技术领域,并公开了一种具有多节点断电保护功能的断路器,包括壳体机构,所述壳体机构的外侧固定连接有导向支板,当某一分支节点出现温度异常等故障时,测温组件触发,电磁铁带动移动导块联动限位阻板解除对导杆机构的限位,导杆机构通...
一种直流接触器
一种直流接触器,包括绝缘座和陶瓷罩,绝缘座内装有线圈骨架,线圈骨架上绕设有线圈,线圈骨架中间设有活动铁芯,活动铁芯上装有推杆,推杆穿过通孔并延伸至端盖上方,陶瓷罩上嵌接有静触头组件,推杆顶部装有绝缘环座,绝缘环座上表面固定嵌装有连接柱,连接...
抗冲振型的接触器结构
一种抗冲振型的接触器结构,属于电气控制元件技术领域。包括一接触器本体,在所述接触器本体的左侧和/或右侧设置有一抗冲振机构。优点:由于在接触器本体的一侧或两侧连接了抗冲振机构,因而有助于体现良好的转矩静态平衡效果而得以优化力矩分布并且能从源头...
一种四路转换直流电磁继电器
一种四路转换直流电磁继电器,静接点组件与衔铁动簧片组件相连通时的触点回路零部件均选用导电率高、电阻低的材料构成;接线柱采用4J50与铜芯复合而成,在满足机械应力要求的同时兼具优良的导电性;所述拖片采用锌白铜,经切割加工后表面光洁度高,能有效...
一种真空继电器局部封胶装置及方法
本发明公开了一种真空继电器局部封胶装置,属于真空继电器封胶技术领域,其技术方案要点是,包括支撑座和真空继电器,所述支撑座上转动连接有放置件,所述放置件上放置所述真空继电器,所述支撑座的两侧各设置有一个半清洁机构,所述支撑座的中部设置有注胶机...
一种磁场强化型触头、触头系统及应用
本公开属于大容量电力开关装备技术领域,具体揭示了一种磁场强化型触头、触头系统及应用,所述触头包括:触头托、触头片、聚磁片和导电杆,其中,所述触头片同轴设置于所述触头托的上端面;所述触头托的上端面设置有环向切槽,所述聚磁片设置于所述环向切槽内...
电开关触头组
提出了用于真空断路器(100)的电开关触头(1, 2)组(40),包括:‑ 第一触头(1),‑ 可沿移动轴线(A)移动的第二触头(2),每个触头(1; 2)具有包括一组分支(5a, 5b, 5c; 6a, 6b, 6c)的盘的形状,所述分支...
一种户外高压一二次融合成套柱上断路器
本发明涉及断路器技术领域,具体为一种户外高压一二次融合成套柱上断路器,包括机构箱、均匀固定在机构箱顶部的三个灭弧室、固定在三个灭弧室顶部的定触头、滑动安装于三个灭弧室底部的动触头以及安装在机构箱内部的传动装置,三根所述动触头的底部均螺纹连接...
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