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  • 本发明提供一种具有反常霍尔效应的反钙钛矿薄膜材料,其化学式为Mn3CuN;其中:所述反钙钛矿薄膜材料为单晶。本发明还提供本发明的具有反常霍尔效应的反钙钛矿薄膜材料的制备方法和应用。本发明提供反钙钛矿结构薄膜材料Mn3CuN在宽温区具有明显的...
  • 本发明涉及外延生长技术领域,公开了一种外延反应室及其控制方法,外延反应室包括反应室主体、上半月保温毡、下半月保温毡和气体流量控制装置,其中反应室主体包括上半月结构、下半月结构以及两个侧面挡块,其围合构成气体反应腔;上半月结构包括上半月主体和...
  • 本发明公开了一种蓝宝石长晶与退火设备,包括炉体、水平移动装置、垂直升降装置、籽晶轴挂载装置及籽晶轴压紧装置。炉体包括下炉腔、炉台外腔及炉台内腔,炉台内腔的下侧连接支撑底腔;水平移动装置包括上平移轨道、下平移轨道及设于其上的平移固定板;垂直升...
  • 本发明涉及一种低位错密度的氧化镓晶体的生长方法,涉及半导体材料技术领域,其中,所述生长方法包括以下步骤:(1)将(001)取向的β‑Ga2O3籽晶固定在生长装置中铱坩埚的底部,保护气氛条件下,升温至β‑Ga2O3籽晶熔点;(2)启动籽晶匀速...
  • 一种掺钍四硼酸锶晶体及其制备方法和应用,掺钍四硼酸锶晶体的化学分子式ThxSr1‑xB4+yO7(Th : SBO),采用溶体法生长。本发明的Th : SBO晶体熔点低、组分简单,有利于实现高品质晶体生长;带隙宽,在真空紫外波段具有高的透过...
  • 本发明涉及单晶硅生产技术领域,尤其涉及一种单晶炉加料装置。该单晶炉加料装置包括储料筒、封盖、第一翻板组件、连接筒和投料筒,储料筒内具有至少两个储料仓,每个储料仓均开设有进料口和出料口;封盖包括盖体和上仓盖,上仓盖能封盖或者打开对应的进料口,...
  • 本发明属于单晶硅制造技术领域,具体地说是一种单晶硅炉垂直提拉装置,包括主炉体;所述主炉体的顶面通过隔离阀连接有副炉体;所述主炉体的一侧设置有底座;所述底座的顶面转动连接有支撑柱,且支撑柱由伺服电机一驱动;所述副炉体与支撑柱滑动连接,且副炉体...
  • 本发明提供了一种改善多晶硅薄膜翘曲的装置、方法及多晶硅片,涉及半导体制造技术领域,该装置包括:沉积炉炉体和设置于所述沉积炉炉体的炉腔内的石英舟,石英舟为一体成型结构,石英舟上设置有多个用于承载待沉积硅片的槽位,石英舟内的空档区域的所有槽位均...
  • 本发明提供了一种单晶炉旋流布风装置、单晶炉及炉内保护气流动优化方法,属于单晶生产设备领域。所述装置设置在单晶炉的气流入口处,位于炉内单晶棒位置的正上方;旋流筒设置在单晶炉的最上侧,呈圆环柱形,在圆环柱形的内壁上,设置有气体导流结构,引导保护...
  • 本公开实施例提供了一种拼接单晶金刚石结构及其制备方法,通过在相邻两个第一单晶金刚石籽晶的拼接缝上方叠放第二单晶金刚石籽晶,垂直方向上无拼接缝,这样可以获得大尺寸、无拼接缝的拼接金刚石衬底,在外延后可以获得大尺寸、无拼接缝的单晶金刚石外延层,...
  • 本申请涉及半导体设备技术领域,提供一种立式外延设备及外延方法。设备包括:立式反应腔;晶舟,用于竖向间隔装载多个晶片;驱动装置,用于驱动晶舟进/出立式反应腔;材料供应组件包括工艺供应管路以及切换单元;工艺材料源包括用于去除晶片表面的氧化物层的...
  • 本发明公开了一种硅掺氮化镓晶碇及其生长方法,包括以下步骤:(1)、提供一自支撑衬底;(2)、用HVPE技术在该自支撑衬底上生长碳掺氮化镓;(3)、将生长的碳掺氮化镓进行处理;(4)、利用HVPE技术在碳掺氮化镓衬底上生长厚度达到5mm以上的...
  • 本发明公开了一种增强界面热导的Ga2O3/金刚石异质结构制备方法,涉及宽禁带半导体材料制备领域,该方法具体包括:对p型金刚石外延片进行表面预处理和高真空高温退火后,作为衬底高温生长氧化镓缓冲层,然后在适当温度下生长氧化镓外延层,最终在p型金...
  • 本发明提供一种机台外延行为匹配方法,对比第一外延机台和第二外延机台得到的外延层厚度、外延层Y含量和Z含量随流速的变化关系;调整与Z含量比例关系拟合的机台变量关系对应的外延工艺变量,使第一外延机台和第二外延机台的第二外延层Z含量、Y含量匹配。...
  • 本申请提供了一种双前驱体雾化系统及制备镓铟氧化物薄膜的方法,可精准调整薄膜中铟元素含量。其核心在于双前驱体雾化系统的搭建,引入三个独立气体流量计和两个独立超声雾化室,实现含有铟离子和镓离子的超声雾化室中载气的控制,进而实现薄膜中镓、铟元素占...
  • 本发明提供了一种碳化硅晶须及其低成本制造方法,该方法选择棉花作为天然模板和反应的次要碳源,将其在催化剂溶液和原料浆液中反复浸渍、烘干,再进行烧结后,最终制得碳化硅晶须。本发明选择廉价、可再生、来源广泛的生物质材料的棉类作为反应的模板和碳源,...
  • 本发明涉及碳化硅单晶材料技术领域,具体涉及一种籽晶粘接用多段式加热装置及籽晶粘接方法,包括加热平台,设置在加热平台上方的加压组件;所述加热平台包括用于承载籽晶粘接件的石墨平台,设置在石墨平台下方且用于对石墨平台进行加热的发热体组件;所述发热...
  • 本发明涉及一种直拉法生长氧化物晶体的热场调节方法,通过特定的热场结构实现,该热场结构包括一炉体,坩埚设置于炉体内,坩埚与晶体之间设有可移动的隔热筒。在晶体生长的不同阶段,动态调整隔热筒的位置,在隔热筒的区域形成相对低温区。所述隔热筒与熔体液...
  • 本发明公开了一种基于电阻炉的大尺寸YAG晶体生长系统和生长方法,涉及激光晶体生长技术领域。大尺寸YAG晶体生长系统为轴向三段独立的控温系统,包括上部控温系统、中部控温系统和下部控温系统;有利于实现对多层梯度温场的精准控制,通过引用大界面籽晶...
  • 本申请涉及一种单晶硅棒的制备方法和硅片。包括依次进行的熔料阶段、调温阶段、熔接阶段、引晶阶段、放肩阶段、等径阶段、收尾阶段以及取断阶段;在所述等径阶段,控制提拉速率在第一拉速范围内,并控制固液界面温度梯度在第一梯度范围内;其中,所述第一拉速...
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