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最新专利技术
  • 用于真空环境下的图形刻蚀装置以及图形刻蚀方法
    用于真空环境下的图形刻蚀装置以及图形刻蚀方法_中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所_202511981408.6
    本发明公开了一种用于真空环境下的图形刻蚀装置以及图形刻蚀方法，所述图形刻蚀装置包括外壳、承载座、掩模版机构以及离子束源；外壳内具有工作腔，所述外壳上还设有连通口，所述工作腔通过连通口与外界相连通；承载座安装于所述外壳的工作腔内；掩模版机构包...
    2026-04-25
  • 刻蚀反应腔的刻蚀方法及刻蚀设备
    刻蚀反应腔的刻蚀方法及刻蚀设备_无锡芯卓湖光半导体有限公司_202512032685.9
    本申请公开了一种刻蚀反应腔的刻蚀方法及刻蚀设备，属于刻蚀技术领域。刻蚀反应腔的刻蚀方法包括：在刻蚀反应腔内执行第一刻蚀制程，以对第一结构进行刻蚀；在第一刻蚀制程结束之后，对刻蚀反应腔进行清洁，以去除残留的沉积聚合物；在清洁后的刻蚀反应腔内进...
    2026-04-25
  • 一种射频电源动态频率调谐方法及系统
    一种射频电源动态频率调谐方法及系统_佛仪科技(佛山)有限公司_202512055118.5
    本发明提供了一种射频电源动态频率调谐方法及系统，涉及射频电源控制技术领域。该方法包括步骤：采集射频输出端的瞬时电压信号和瞬时电流信号；根据瞬时电压信号和瞬时电流信号，获得平均反射功率值；根据平均反射功率值与预设阈值的比较结果，生成频率调节指...
    2026-04-25
  • 一种基于射频等离子体的5nm级半导体芯片原子层刻蚀系统
    一种基于射频等离子体的5nm级半导体芯片原子层刻蚀系统_四川东泽科技有限公司_202610014575.1
    本发明提供基于射频等离子体的5nm级半导体芯片原子层刻蚀系统，系统包括反应腔室、射频电源子系统、气体注入子系统和控制单元，射频电源子系2包含60MHz高频源和2MHz低频源，控制单元通过时序控制信号实现两者的交替输出，高频脉冲用于激发反应气...
    2026-04-25
  • 能够在质谱仪中无损安装和取出的离子光学件
    能够在质谱仪中无损安装和取出的离子光学件_布鲁克·道尔顿有限及两合公司_202511396232.8
    本发明涉及一种可以无损地插入到质谱仪中并可取下的离子光学件。此外本发明还涉及包括根据本发明的离子光学件及用于该离子光学件的容纳元件的套装。本发明还涉及一种质谱仪，尤其是一种MALDI‑TOF质谱仪，其包括根据本发明的离子光学件和/或根据本发...
    2026-04-25
  • 一种径向进样磁增强光电子电离源装置
    一种径向进样磁增强光电子电离源装置_中国科学院大连化学物理研究所_202511898452.0
    本发明属于质谱分析仪技术领域，具体地说是一种径向进样磁增强光电子电离源装置，电离源腔体的一侧设有进样接口、相对的另一侧安装有孔电极，电离源腔体内设有磁增强光电子电离区及离子漏斗传输区；推斥电极位于聚焦电极一侧与进样接口之间，聚焦电极的另一侧...
    2026-04-25
  • 电子束离子阱系统及高离化态离子提取方法
    电子束离子阱系统及高离化态离子提取方法_西北师范大学_202510982107.9
    本发明提供一种电子束离子阱系统及高离化态离子提取方法，涉及离子提取技术领域，该系统包括：电子束离子阱装置本体、真空腔室、永磁体模组、真空模组和注气模组；电子束离子阱装置本体设置于真空腔室内部；永磁体模组围绕真空腔室设置，用于为电子束离子阱装...
    2026-04-25
  • 一种空心阴极、空心阴极灯及其制备方法
    一种空心阴极、空心阴极灯及其制备方法_北京普析通用仪器有限责任公司_202610233655.6
    本发明提供一种空心阴极、空心阴极灯及其制备方法，属于分析测试仪器的放电灯技术领域。空心阴极由单质阴极材料粉末压制成型，孔隙率为10%‑20%。空心阴极制备方法包括如下步骤：1)将块状阴极材料研磨为粉状材料；2)对粉状阴极材料进行压铸；3)对...
    2026-04-25
  • 蜂窝整流结构、装置、等离子体光源及半导体设备
    蜂窝整流结构、装置、等离子体光源及半导体设备_深圳市新凯来工业机器有限公司_202511876661.5
    本申请提供了一种蜂窝整流结构、装置、等离子体光源及半导体设备，蜂窝整流结构应用于激光维持等离子体光源，所述蜂窝整流结构包括：相邻设置的多个蜂窝单元，所述蜂窝单元形成用于使气流通过的通道结构，所述多个蜂窝单元的轴向延伸方向平行；设置于相邻的所...
    2026-04-25
  • 极片及其制造方法、电池单体、电池包及用电设备
    极片及其制造方法、电池单体、电池包及用电设备_湖北亿纬动力有限公司_202511904860.2
    本申请公开了一种极片及其制造方法、电池单体、电池包及用电设备，属于电池技术领域，通过在极片的集流体和/或活性层上设置多个凹槽，设置于极片的集流体或者活性层的表面的多个凹槽基于毛细效应形成电解液的浸润通道，从而提高电解液在极片上的浸润速率和浸...
    2026-04-25
  • 一种水系质子电池正极及其制备方法、一种水系质子电池
    一种水系质子电池正极及其制备方法、一种水系质子电池_广东屏安新能源科技有限公司_202511956190.9
    本发明提供一种水系质子电池正极及其制备方法、一种水系质子电池，水系质子电池正极包括导电集流体和设置在导电集流体至少一侧的正极膜片，正极膜片包括正极活性物质、导电剂和粘结剂，粘结剂由橡胶热交联得到，橡胶选自丁腈橡胶、丁苯橡胶、氢化丁腈橡胶、氢...
    2026-04-25
  • 一种预嵌入锌的水系锌离子电池的氧化锰基正极及制备方法
    一种预嵌入锌的水系锌离子电池的氧化锰基正极及制备方法_菏泽学院_202512043739.1
    本发明涉及氧化锰基正极，特别涉及一种预嵌入锌的水系锌离子电池的氧化锰基正极及制备方法。本发明提出使用简易的离子交换法对δ‑MnO₂进行预嵌入锌离子，基于水热法制备了具有2D互联纳米片形貌的δ‑MnO₂材料，其微观形貌十分有利于锌离子的快速脱...
    2026-04-25
  • 一种用于液态金属电池的自愈合型抑液滴负极及制备方法
    一种用于液态金属电池的自愈合型抑液滴负极及制备方法_河北工业大学_202610078538.7
    本发明公开了一种用于液态金属电池的自愈合型抑液滴负极及制备方法。本发明将多孔导电基底浸入聚合物溶液，超声辅助渗透后升温固化，得到动态键改性基底；制备低熔点液态金属，改性基底经梯度脱气后，在高温下真空浸渍于熔融合金，进行超声辅助以及加压渗透；...
    2026-04-25
  • 固态电池电极、其制备方法及应用
    固态电池电极、其制备方法及应用_上海轩邑新能源发展有限公司_202511781140.1
    本发明提供了一种固态电池电极、其制备方法及应用。该制备方法包括：将固态电解质、活性材料、导电剂和粘合剂混合，加入主溶剂和稀释剂，得到电极浆料，涂布在集流体上，依次进行干燥和压实，得到固态电池电极；主溶剂包括异丁酸异丁酯和/或异戊酸异戊酯，稀...
    2026-04-25
  • 一种二氧化钛负极极片及其制备方法、水系锂离子电池
    一种二氧化钛负极极片及其制备方法、水系锂离子电池_超威电源集团有限公司_202511976677.3
    本发明涉及一种二氧化钛负极极片及其制备方法、水系锂离子电池，属于电化学材料领域，解决了现有技术中水系锂离子电池中负极片存在的电导率低、纳米颗粒易团聚、以及在水系电池中析氢严重导致的倍率性能差、循环容量衰减快等问题中的至少一个。一种二氧化钛负...
    2026-04-25
  • 一种以高初始电流作为电化学引发剂实现硅尺寸调控和电池性能稳定的方法
    一种以高初始电流作为电化学引发剂实现硅尺寸调控和电池性能稳定的方法_中山大学_202512015746.0
    本发明属于电化学技术领域，具体涉及一种以高初始电流作为电化学引发剂实现硅尺寸调控和电池性能稳定的方法。本发明将卟啉COF包覆纳米硅、多壁碳纳米管、海藻酸钠混合后加入去离子水制备浆料，涂覆在铜箔上，干燥，切片，制得硅负极极片，并组装硅//LI...
    2026-04-25
  • 一种高倍率淀粉基硬碳负极材料及其制备方法
    一种高倍率淀粉基硬碳负极材料及其制备方法_滨化技术有限公司_202610027390.4
    本发明公开了一种高倍率淀粉基硬碳负极材料及其制备方法，包括以下步骤：S1、首先对预先改性处理的淀粉在300‑500℃的低温条件下进行稳定化处理，物料粉碎备用；S2、碳化：对步骤S1的粉末在惰性气氛下进行高温碳化，冷却后得到淀粉基硬碳材料；S...
    2026-04-25
  • 用于全固态电池的正电极、包括正电极的全固态电池和制造正电极的方法
    用于全固态电池的正电极、包括正电极的全固态电池和制造正电极的方法_三星SDI株式会社_202511328896.0
    公开了正电极、包括正电极的全固态电池和制造正电极的方法。正电极包括正电极集流体和形成在正电极集流体上的正电极活性物质层。正电极活性物质层包括正电极活性物质和固体电解质。正电极活性物质层包括表层部和深层部。表层部中的锂杂质的量大于深层部中的锂...
    2026-04-25
  • 二次电池用正极及包括该正极的锂二次电池
    二次电池用正极及包括该正极的锂二次电池_SK新能源株式会社_202511422798.3
    根据本发明的二次电池用正极包括正极集流体、依次层叠在所述正极集流体的至少一面上的第一正极活性物质层和第二正极活性物质层。所述第一正极活性物质层包含锂过渡金属氧化物。所述第二正极活性物质层包含锂金属磷氧化物、点型导电材料和线型导电材料。在所述...
    2026-04-25
  • 正极片及其制备方法、锂离子电池
    正极片及其制备方法、锂离子电池_上海轩邑新能源发展有限公司_202511781134.6
    本发明提供了一种正极片及其制备方法、锂离子电池。该正极片包括集流体和设置在集流体表面的正极活性层，该正极活性层包括：正极活性材料、导电剂、粘结剂和改性固态电解质；其中，改性固态电解质包括固态电解质内核和包覆在固态电解质内核外表面的包覆层，包...
    2026-04-25
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