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一种基于椭偏仪的晶圆表面性质测量方法及相关设备
本发明提供了一种基于椭偏仪的晶圆表面性质测量方法及相关设备,涉及椭偏仪测量技术领域。该方法包括步骤:从待测量晶圆表面选择任意一个测量点作为参考点;针对除参考点外的其他测量点,根据参考点,确定各测量点的聚焦高度调整量,并基于聚焦高度调整量计算...
基于深度学习的激光超声电气套管微小缺陷成像方法
本发明涉及一种基于深度学习的激光超声电气套管微小缺陷成像方法,包括:对电气套管施加激光超声体波,并进行信号采集;对采集的信号进行时域和频域分析,提取损伤散射信号的特征参数,构建融合多维特征参数的微损伤表征向量;采用稀疏表示算法通过直通波字典...
基于DEM和遥感影像的湖泊水位与水面关系分析方法
本发明涉及水位水面关系分析技术领域,具体为基于DEM和遥感影像的湖泊水位与水面关系分析方法,包括以下步骤:基于DEM和遥感影像数据,分析实测数据与DEM的空间关系,修正异常高程并调整原有数据,筛选高程差异小的边界点,统计不同水位下的水面面积...
一种基于双增强光声光谱的干湿变压器分气体在线检测系统及方法
本发明公开了一种基于双增强光声光谱的干湿变压器分气体在线检测系统及方法,系统包括:进排气模块,获取液体变压器油液溶解气体或者干式变压器绝缘气体分解气体;激光器模块,用于提供激光,供气体吸收产生声波;可移动环形光路机构,用于提供光路以及调节光...
激光光声一体化探头
本发明提供一种激光光声一体化探头;该激光光声一体化探头包括:激励激光光路、等离子体发射光采集光路和激光干涉检测光路;激励激光光路包括第一镜筒,激励激光通过第一镜筒照射待检区域,并在待检区域产生等离子体发射光或激光超声;等离子体发射光采集光路...
一种基于多路延时并行探测的阵列式光纤超声成像系统
本发明公开了一种基于多路延时并行探测的阵列式光纤超声成像系统,属于超声探测及成像技术领域。系统工作的主要流程为:激光器输出的连续激光被调制为脉冲激光传输至光纤超声探测器阵列,超声波产生装置发射的超声波作用在各探测阵元,引起探测光信号性质改变...
光纤机械谐振探针传感器及蛋白质折叠过程监测方法
本发明公开了一种光纤机械谐振探针传感器及蛋白质折叠过程监测方法,传感器中激光器通过环形器将激光信号发送给光纤光栅;驱动装置驱动光纤光栅和振动部同步做亚谐振动,在振动过程中光纤光栅的光栅周期发生周期性变化,光纤光栅的反射谱发生周期性偏移,光纤...
一种基于少模光纤锥形探针的丙酮气体传感器及其制备方法
本发明公开了一种基于少模光纤锥形探针的丙酮气体传感器及其制备方法,属于光纤传感与丙酮气体检测交叉领域,包括少模光纤锥形探针包括基底包层,基底包层中心位置设置有锥形纤芯,基地包层边缘处设置有光纤锥区包层,光纤锥区包层半径线性减小到圆形锥区前端...
一种电池级碳酸锂成分检测装置及检测方法
本发明涉及碳酸锂成分检测技术领域,具体公布了一种电池级碳酸锂成分检测装置,其包括,箱体、检测仪、送料机构,送料机构设置于箱体内且靠近检测仪的检测端部,检测仪为光谱仪,箱体的内壁处设置有固定板,固定板的一侧连接有承载座,固定板的板面上固定设置...
一种海上风力发电塔架涂层破损巡检方法及装置
一种海上风力发电塔架涂层破损巡检方法,包括:获取海上风电场的巡检路径;沿着海上风电场的巡检路径对海上风电场中的风力发电塔架进行巡检,以便通过机载高光谱成像设备获取风力发电塔架表面的高光谱图像;根据高光谱图像确定风力发电塔架表面的涂层裸露情况...
一种试剂快速混合及比色的装置及其工作方法
本发明公开了一种试剂快速混合及比色的装置及其工作方法,包括溶液管和检测管,溶液管包括上下设置的样品仓和试剂仓,样品仓的底部设有定量管,定量管的出口端设置在试剂仓内,且定量管的出口端设有密封膜,样品仓内设有密封杆,密封杆的密封杆柄与样品仓的外...
一种可自校准激光器中心波长的气体检测方法及装置
本发明涉及一种可自校准激光器中心波长的气体检测方法及装置,在目标关联波段内寻得无毒无腐蚀性的干扰气体,取代目标气体充入参考光路;调节激光器的波长扫频范围,再调节激光器使其中心波长与目标气体最强吸收峰重合,记录此时干扰气体的初始吸收峰信息,分...
一种孔内缺陷检测用大广角视觉模组
本发明涉及工业检测设备技术领域,且公开了一种孔内缺陷检测用大广角视觉模组,包括检测圆筒外壳,检测圆筒外壳上安装有环形安装座,环形安装座上转动安装有环形调节座,检测圆筒外壳上设置有鱼眼摄像头,环形调节座上开设有调节凹槽,环形安装座上设置有LE...
一种半导体检测工艺中的硅片或晶圆表面辅助对焦方法
本申请公开了一种半导体检测工艺中的硅片或晶圆表面辅助对焦方法,该方法包括以下步骤:将标准平晶放置于微孔陶瓷卡盘上方吸附固定;获取标准平晶在不同位置的反射光斑信号强度值;根据不同位置的反射光斑信号强度值调整卡盘水平度;采集不同位置的黑白棋盘格...
一种确认键合晶圆裂纹位置的装置及方法
本申请提供一种确认键合晶圆裂纹位置的装置及方法,其中装置包括键合晶圆放置部、光源、图像传感部、插片部、遮光部,所述插片部设置于所述键合晶圆放置部的外侧,将插片插入键合晶圆用于确认裂纹位置;所述遮光部将键合晶圆放置部、光源、图像传感部、插片部...
一种配电网电缆故障检测装置
本发明涉及电缆故障检测技术领域,公开了一种配电网电缆故障检测装置。包括上装配机构和下装配机构,所述上装配机构和所述下装配机构之间连接有安装机构,所述下装配机构内侧安装有信号传输模块和控制器,所述下装配机构底端安装有配重块;通过设置的上装配机...
一种用于煤质快检设备的标定装置及方法
本申请公开了一种用于煤质快检设备的标定装置及方法,所述装置包括:密封盒体结构,所述密封盒体结构由盒体与盒盖组成气密性腔体,用于隔绝煤样与空气接触;自动化开盖模块,包括电动推杆,所述电动推杆用于在进行煤质检测时将盒盖滑离检测区,所述电动推杆还...
一种环境气体分析仪控制方法及系统
本发明属于分析仪控制领域,尤其涉及一种环境气体分析仪控制方法及系统,包括以下步骤:S1,利用最小鲁棒正不变集对每一个局部线性化状态空间模型的名义状态与输入约束进行收紧;S2,根据传感器测量值估计环境气体分析仪的当前实际状态;生成名义控制输入...
激光薄膜变真空湿度环境原位光谱性能测试设备及方法
本发明公开了一种激光薄膜变真空湿度环境光谱性能测试设备及方法,属于激光薄膜光谱测量技术领域。该设备包括光学测试腔体、真空获得与调控模块、湿度调控模块及控制系统;光学测试腔体与分光光度计测试光路对接,用于放置待测样品;真空获得与调控模块调节腔...
一种基于气室结构用多点位气体检测装置
本发明公开了一种基于气室结构用多点位气体检测装置,涉及气体检测技术领域,检测装置包括壳体、调湿机构、过渡机构、调温机构、调压机构、输送组件、光源、气体探测器和透光片,壳体和调湿机构、过渡机构紧固连接、调温机构、调压机构紧固连接,输送组件两端...
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