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一种用于氮化镓衬底制备的自动多片蓝宝石表面溅射设备
本发明公开了一种用于氮化镓衬底制备的自动多片蓝宝石表面溅射设备,本发明涉及蓝宝石的表面溅射领域,包括溅射室、真空传输室、加载室、冷却室、第二真空泵和第一真空泵,所述溅射室包括加热器、加热器挡板、基片支架、溅射挡板、Ti靶和磁控溅射磁铁,真空...
脉冲激光抑制磁控溅射镀膜靶中毒及均匀烧蚀方法与装置
本发明提供一种脉冲激光抑制磁控溅射镀膜靶中毒及均匀烧蚀方法与装置,涉及磁控溅射镀膜技术领域。该方法包括以下步骤:S1.安装激光辅助离化系统;在真空腔体内固定镀膜靶材,将真空腔体抽至本底真空,并向真空腔体中注入工作气体至设定的工作气压;S2....
一种用于燃料电池金属双极板的高熵合金-碳基复合涂层及其制备方法
本发明公开了一种用于燃料电池金属双极板的高熵合金‑碳基复合涂层及其制备方法,属于燃料电池技术领域。该高熵合金‑碳基复合涂层从内至外依次包括:与金属基体结合的高熵合金过渡层,包含选自Cr、Al、Ti、Nb、Mo、Zr、Hf、Ta、W、V、Ni...
一种稳定的低温度系数薄膜电阻器制备方法及薄膜电阻器
发明公开了一种稳定的低温度系数薄膜电阻器制备方法及薄膜电阻器,涉及片式膜固定电阻器制造工艺技术领域,其中,制备方法包括靶材选取、溅射操作、热处理和阻值调整与测试,该方法通过精心选取和处理靶材,以及优化溅射工艺,实现了电阻器阻值对温度变化的极...
减少大尺寸钼靶缺陷的成型方法
本发明涉及靶材加工成型技术领域的一种减少大尺寸钼靶缺陷的成型方法,对所述钼粉进行压制成型过程中,进行预压制成型与压制成型;所述预压制成型为轴压成型,压制成型为冷等静压成型。本发明的预压法的使用有效的改善了成型体均一性与空腔数量过多的问题,最...
一种具有高硬度与自润滑性能的AlCrSiWN/CrMoN纳米多层复合涂层的制备工艺
本发明公开了一种具有高硬度与自润滑性能的AlCrSiWN/CrMoN纳米多层复合涂层的制备工艺,属于涂层制备技术领域。该多层复合涂层是由AlCrSiWN高硬层与CrMoN自润滑层交替沉积形成的调制涂层,其制备过程为:先制备具有柱状晶结构的A...
一种多弧离子镀膜机及离子镀膜方法
本发明涉及多弧离子镀膜技术领域,本发明提供了一种多弧离子镀膜机及离子镀膜方法,一种多弧离子镀膜机,包括:操作架,所述操作架侧面固定连接有旋转座,所述操作架的顶部固定连接有支撑座,所述操作架的侧面固定装设有控制器;多工位旋转结构,包括装设于所...
一种光学镀膜机及镀膜控制方法、存储介质
本申请公开了一种光学镀膜机及镀膜控制方法、存储介质,涉及光学镀膜技术领域。该光学镀膜机包括镀膜台、位于镀膜台一侧的镀膜枪组和光源以及位于镀膜台另一侧的探测模块和控制模块;镀膜台上设置有换片机构以及与换片机构相对应的第一通孔、用于安装玻璃基片...
一种制备大面积金属膜的真空蒸镀工艺及系统
本发明公开一种制备大面积金属膜的真空蒸镀工艺及系统。该真空蒸镀工艺包括以下步骤:首先使金属坩埚与基底之间的距离≥100mm,并将挡板移至金属坩埚和基底之间,并将真空腔体的真空抽至5×10‑4Pa以下;随后对放置有高纯度金属棒的金属坩埚进行加...
一种镀铝机热量束缚系统及其使用方法
本申请涉及真空镀铝设备的技术领域,尤其是涉及一种镀铝机热量束缚系统及其使用方法,包括防护壳体,所述防护壳体内设置有用于容纳蒸发舟的容纳腔,所述防护壳体的顶部开设有朝向基材的开口;横移挡板,其配置为在第一工作模式下遮蔽所述开口,并在第二工作模...
蒸镀源和蒸镀装置
本文提供了一种蒸镀源和蒸镀装置。蒸镀源包括坩埚、喷嘴和屏蔽结构,所述坩埚围成封闭的蒸发腔,所述蒸发腔在第一方向一侧的腔壁设有输出口,所述喷嘴对应所述输出口设置;所述屏蔽结构设置在所述空置腔内且位于所述储料腔和所述输出口之间,所述屏蔽结构设有...
一种激光镜片的防雾镀膜装置
本发明公开了一种激光镜片的防雾镀膜装置,涉及镜片镀膜设备技术领域,包括:镀膜箱体,其作为镜片镀膜的安装主体,其侧壁设置有用于抽真空的抽气泵,其内侧顶部固定设置有用于存储镀膜材料的镀膜材料箱,所述镀膜箱体的顶部设置有用于对镀膜材料加热的镀膜机...
一种Ti/Zr复合掺杂无氢碳基金属双极板涂层及其制备方法
本发明公开了一种Ti/Zr复合掺杂无氢碳基金属双极板涂层及其制备方法,属于涂层沉积技术领域。该涂层附着在基体上,由里至外依次包括钛过渡层和钛锆双掺杂非晶碳涂层;钛过渡层的材质为纯Ti,钛锆双掺杂非晶碳涂层中Ti原子数百分含量为5.8 %,Z...
一种黑色防腐PVD涂层及其制备工艺
本发明公开了一种黑色防腐PVD涂层及其制备工艺,首先在基材工件表面溅射一层金属层,其既能很好的覆盖工件,很好的链接基材和第一过渡层,保证了后续颜色层在工件上的附着生长和颜色呈现;随后制备第一过渡层,第一过渡层由金属和硅的合金组成,且第一过渡...
一种PTC电热膜电极及其制备方法和应用
一种PTC电热膜电极及其制备方法和应用,涉及发热元件制造技术领域;所述PTC电热膜电极的制备方法包括:在PTC电热体表面进行金属离子注入的界面改性处理;在步骤S1界面改性后的PTC电热体表面通过电弧离子镀处理沉积铜种子层,所述电弧离子镀处理...
增强型反射镜的制造方法及制造设备
本发明公开了一种增强型反射镜的制造方法及制造设备。所述制造方法在连续传输过程中依序包含:通过化学气相沉积工艺在高分子基材上生成带有微观颗粒状凸起的缓冲层;通过物理气相沉积工艺在缓冲层上沉积金属反射层,利用微观颗粒状凸起的遮挡效应形成微观孔隙...
一种具有抗辐照及低氢滞留特性钛基高熵非晶/氧化物多层膜及其制备方法与应用
本发明公开了一种具有抗辐照及低氢滞留特性钛基高熵非晶/氧化物多层膜及其制备方法与应用,属于核能材料技术领域。所述具有抗辐照及低氢滞留特性钛基高熵非晶/氧化物多层膜由下至上依次为第一Al2O3层、TiVZrNbTaMoB合金层、第二Al2O3...
一种基板表面镀膜膜系结构
本发明公开了一种基板表面镀膜膜系结构,包括基板,基板表面镀有一层或多层膜组,每层模组从最靠近基板处开始依次是一层或多层介质层、一层过渡层、一层金属层、一层过渡层,最外层膜组外再镀一层或多层介质层,所述过渡层采用氧化铝或氧化铌中的一种或多种。...
一种大厚度高韧性高结合力的AlTiN涂层及其制备方法和应用
本发明属于材料涂层技术领域,更具体的说是涉及一种大厚度高韧性高结合力的AlTiN涂层及其制备方法和应用。本发明采用电弧离子镀技术在基体上直接沉积厚度为10‑30μm的AlTiN涂层,所述AlTiN涂层,按原子百分比计,包括:Al25‑35a...
一种高温超润滑二硫化钼掺含氢类金刚石涂层及其制备方法与应用
本发明公开了一种高温超润滑二硫化钼掺含氢类金刚石涂层及其制备方法与应用。所述涂层包括在基体表面依次沉积Ti打底层和MoS2‑H‑DLC功能层。该高温超润滑二硫化钼掺含氢类金刚石涂层在25℃至200℃温度区间内,具有优异的摩擦学性能。特别是在...
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