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  • 本发明提供了一种光路在线验证调节装置,属于半导体量检测设备的光路调节技术,光路在线验证调节装置包括上游光机构、下游验证机构和在线显示单元;上游光机构用于验证图像信息采集或向光路提供验证照明光源,下游验证机构用于光路输出的接收和/或验证图像信...
  • 提出一种光机模块,包括壳体、穿透式光阀、聚焦透镜、光学片及风扇模块。壳体有容置空间。穿透式光阀配置于容置空间内且将容置空间区分为第一及第二内循换区。聚焦透镜配置于第一内循环区且与穿透式光阀之间有第一间隙。穿透式光阀位于聚焦透镜与光学片之间。...
  • 本申请提供实施例属于光电技术,提供一种激光投影设备及衍射光学元件,所述激光投影设备包括:激光光源,用于出射至少两种颜色的激光;衍射光学元件,包括基底与位于所述基底上的多个子区域;所述子区域包括不同高度的台阶状微结构,不同子区域用于对不同颜色...
  • 一种激光光源结构,其包含封装光源单元、第一镜片单元及第二镜片单元。封装光源单元包含:电路基板;第一激光光源设置于电路基板,并沿第一方向发出第一光;及第二激光光源设置于电路基板,并与第一激光光源间隔设置且共同封装于电路基板,且沿第一方向发出第...
  • 本申请提供一种投影设备及投影系统,涉及投影技术领域,投影设备包括:安装座;投影主机,投影主机安装在安装座上;驱动组件,驱动组件用于带动投影主机在安装座上转动;驱动组件包括:驱动件,驱动件安装在安装座上;第一传动件,第一传动件与驱动件相连;第...
  • 本发明属于古典诗词投影相关技术领域,具体涉及一种古典诗词意境可视化投影辅助装置,包括安装板,所述安装板的下端设置有调节组件,所述调节组件的下端固定连接在前后移动组件的上端,所述前后移动组件的下端固定连接有横板,所述横板的下端设置有投影仪主。...
  • 本公开实施例公开了一种光刻掩模的更新方法、装置、电子设备及存储介质,该方法包括:获取目标芯片版图,构建掩模图和水平集函数,对掩模图进行光刻仿真得到晶圆图案;根据目标芯片版图和晶圆图案之间的差异确定目标损失,通过共轭梯度优化器得到第一优化项,...
  • 一种图形修正方法、存储介质和存储终端,提供若干初始待修正版图,所述初始待修正版图包括若干初始待修正图形;根据若干初始待修正版图获取测试版图,所述测试版图包括若干测试图形,若干所述测试图形的位置与若干所述初始待修正图形的位置相对应;根据所述测...
  • 本发明公开了光学物镜下掩模版清晰成像方法,涉及光学检测与图像处理技术领域,包括以下步骤:S1,基于光学物镜视场边界条件,结合金属边缘材料的反射特性与入射角度变化规律,构建光强分布模型,确定金属边缘反射串扰的覆盖范围,并生成掩模边界干扰预测图...
  • 本发明提供一种对基片进行检查的基片检查装置,包括:取得部,其基于图像估计模型和经基片处理装置处理前的检查对象基片的拍摄图像,取得经所述基片处理装置处理后的所述检查对象基片的估计图像,其中,所述图像估计模型是使用多个基片各自的经所述基片处理装...
  • 本发明提供了一种压印模具,包括:第一基底,所述第一基底上包括若干翻模区以及若干狭缝区,所述狭缝区位于相邻所述翻模区之间;位于各所述翻模区的图案化胶层;位于所述狭缝区的预固化胶层;其中,所述预固化胶层的固化时间早于所述图案化胶层的固化时间。解...
  • 一种基于法向力控制的大范围纳米结构表面压印方法,属于纳米结构表面加工技术领域。方法如下:进行结构化压头表面与工件表面的调平;进行法向力控制压印;进行原位检测,评估本次压印加工的质量;若评估质量误差超值,则重复上述步骤直至误差在规定的范围内后...
  • 本申请公开了一种光学部件的制备方法及其设备、摄像模组和电子设备,属于光学镜片技术领域。光学部件的制备方法,光学部件用于摄像模组,制备方法包括:在光学部件的基材的表面涂布感光乳剂,感光乳剂包括卤化银颗粒;控制可编程光源发射光线,以对感光乳剂进...
  • 本发明属于光敏材料制备技术领域,具体涉及一种锥角可调的光敏聚酰亚胺组合物及其应用。包括第一重氮萘醌磺酸酯、第二重氮萘醌磺酸酯、聚酰胺酸树脂;所述第一重氮萘醌磺酸酯具有硅氧烷基团。本发明第一重氮萘醌磺酸酯具有硅氧烷基团,该基团易与玻璃基板上的...
  • 本发明公开了一种BCB光刻胶及其制备方法,属于光刻胶技术领域。包括以下重量份的原料:60‑70份改性BCB树脂、20‑30份溶剂、1‑3份蒽醌‑2‑磺酸钠、5‑9份三烯丙基异氰脲酸酯。其中,改性BCB树脂的原料包括4‑乙烯基苯并环丁烯、对二...
  • 本申请涉及一种负性感光性树脂组合物、固化膜及半导体装置,以改善光敏性聚酰亚胺低温固化时亚胺化程度不足的技术问题。该负性感光性树脂组合物包括:包含聚酰胺酸脂的前体树脂、含硫脲键的光交联剂、光引发剂和溶剂。光交联剂与包含聚酰胺酸酯的前体树脂组成...
  • 本发明属于热打印技术领域,具体涉及一种感光带、感光碳带及其应用。本发明通过添加感光树脂,经曝光后能够和光敏剂发生反应,形成交联体系,使转印后的感光层具有良好的稳定性和耐溶剂性,最大程度保证了在溶剂型油墨体系内丝网制版的使用寿命;通过将交联体...
  • 本发明公开了一种提升套刻量测稳定性的方法,用于解决因化学机械抛光等工艺导致套刻标记形貌不一致而引起的量测不准问题。该方法包括:提供设置有套刻标记的待测晶圆;对套刻标记的量测任务进行划分,得到至少两个量测子任务,并为所述量测子任务分别配置不同...
  • 本发明公开了一种在线监控曝光机杂散光的光罩、方法及系统,属于半导体制造技术领域。该方法包括:提供设置有关键尺寸测试图形和多个不同尺寸遮光图形的光罩;在晶圆上对关键尺寸测试图形进行第一次曝光以形成第一潜像;对光罩与晶圆相对移位后,使用遮光图形...
  • 本发明提供了一种非邻接的光楔调焦机构和曝光机,属于光学调焦领域,光楔调焦机构包上滑动安装板、光楔底板、上光楔组件、下光楔组件、滑移导向组件和光楔驱动组件;上光楔组件和下光楔组件构成相邻楔面间隔滑动的双楔形棱镜单元,光楔驱动组件驱动上光楔组件...
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