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  • 静电卡盘(1)具备:用于吸附被吸附物的基板(2);支承基板(2)的基台;和将基板(2)粘接于基台(3)的粘接层(4)。粘接层(4)具有位于基板(2)的中央侧的第1粘接层(4a)和位于比第1粘接层(4a)靠近基板(2)的端部侧的第2粘接层(4...
  • 一种载置台,其具有:板状部件,其具有能够载置基片的载置面和与所述载置面相反的一侧的背面,且形成有贯穿所述载置面和所述背面的贯通孔;和埋入部件,其配置在所述贯通孔的内部,所述埋入部件沿着该埋入部件的轴向包括:第一部件,其具有正的热膨胀率;和第...
  • 描述了用于在不使用牺牲焊盘的情况下实现微凸块架构以用于探测晶片的方法。一种方法包括形成:(1)根据指定的第一直径的第一凸块,以及(2)根据小于指定的第一直径的指定的第二直径的第一凸块集合。第一凸块被用于探测晶片的与第一凸块集合相关联的部分。...
  • 半导体装置包括:MIM结构体,其包括下部电极和上部电极;上部配线层;和通孔,其连接所述上部电极和所述上部配线层。所述上部配线层包括:第一配线图案,其以不覆盖所述通孔的方式延伸;和第二配线图案,其宽度比所述第一配线图案的宽度窄,并且其以覆盖所...
  • 本发明提供一种半导体装置及其制造方法,其接触插头的平坦化容易,绝缘膜的拐角部的势垒金属的覆盖率良好。半导体装置(1)具有:半导体层(2);设于半导体层(2)的硅化物层(3);设于半导体层(2)之上且具有开口(4A)的第一绝缘膜(4);设于开...
  • 一种封装器件、其制备方法和电子设备。封装器件包括电路板、导热块和电子元件。所述电路板包括在第一方向上相对设置的第一表面和第二表面,所述电路板开设有贯穿所述第一表面和所述第二表面的通槽。所述导热块固定于所述电路板且至少部分位于所述通槽内。所述...
  • 集成电路(IC)管芯结构的表面和IC管芯结构将要键合到的衬底包括双亲性区域,该双亲性区域适合于液滴形成和IC管芯结构与衬底的基于液滴的精细对准。为了确保IC管芯结构的翘曲不干扰基于液滴的精细对准工艺,更大厚度的IC管芯结构与衬底对准,并且随...
  • 提供能够高精度地进行模制成型后的层叠体的对位,因此能够适当地进行层叠体的小型化的带载体的金属箔。该带载体的金属箔具备:具有第一面和第二面的载体、设置于第一面上的剥离层、以及设置于剥离层上的金属层,在载体的第二面或其附近具有至少1个对准标记。
  • 减少高频噪声。半导体模块(100)具备半导体元件(1)、电源路径(3)、第一电感器(L1)、电容器(C1)以及第二电感器(L2)。半导体元件(1)具有电源端子(14)。电源路径(3)与半导体元件(1)的电源端子(14)连接。第一电感器(L1...
  • 实施方式的陶瓷电路基板具备陶瓷基板和金属电路。金属电路经由活性金属钎料层接合于所述陶瓷基板的第一面。所述金属电路的厚度为1mm以上。所述金属电路具有沿着与所述第一面垂直的第一方向贯通所述金属电路的贯通孔。所述第一面的一部分在所述第一方向上与...
  • 一种打线接合装置,包括瓷嘴、超声波振子、与瓷嘴联动地沿上下方向移动而进行金属线的握持、放开的夹持器以及控制部,所述打线接合装置中,控制部于在将夹持器设为关闭的状态下使瓷嘴下降而使瓷嘴的前端接地在引线的时刻t1之后,通过超声波振子对瓷嘴进行超...
  • 封装体(51)具有空腔(CV),包括散热板(11)和陶瓷框体(21)。散热板(11)包含含有金属的第一烧结材料,具有:包括面向所述空腔的空腔面的主面(P2)、与所述主面(P2)相反的散热面(P1)、以及所述散热面(P1)与所述主面(P2)之...
  • 本公开内容公开了背板显示器中的芯粒集成。具体地,讨论了一种装载有微器件的芯粒结构的可转移阵列。另外,还公开了诸如以下的方法:一种制造具有有源背板的芯粒结构的方法、一种将装载有微型LED的芯粒集成到卡匣晶圆中的方法以及一种集成微型LED以连接...
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