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最新专利技术
  • 提升套刻量测稳定性的方法
    提升套刻量测稳定性的方法_华虹半导体(无锡)有限公司_202511350164.1
    本发明公开了一种提升套刻量测稳定性的方法，用于解决因化学机械抛光等工艺导致套刻标记形貌不一致而引起的量测不准问题。该方法包括：提供设置有套刻标记的待测晶圆；对套刻标记的量测任务进行划分，得到至少两个量测子任务，并为所述量测子任务分别配置不同...
    2025-11-29
  • 在线监控曝光机杂散光的光罩、方法及系统
    在线监控曝光机杂散光的光罩、方法及系统_华虹半导体(无锡)有限公司_202511351975.3
    本发明公开了一种在线监控曝光机杂散光的光罩、方法及系统，属于半导体制造技术领域。该方法包括：提供设置有关键尺寸测试图形和多个不同尺寸遮光图形的光罩；在晶圆上对关键尺寸测试图形进行第一次曝光以形成第一潜像；对光罩与晶圆相对移位后，使用遮光图形...
    2025-11-29
  • 一种非邻接的光楔调焦机构和曝光机
    一种非邻接的光楔调焦机构和曝光机_苏州天准科技股份有限公司_202511356522.X
    本发明提供了一种非邻接的光楔调焦机构和曝光机，属于光学调焦领域，光楔调焦机构包上滑动安装板、光楔底板、上光楔组件、下光楔组件、滑移导向组件和光楔驱动组件；上光楔组件和下光楔组件构成相邻楔面间隔滑动的双楔形棱镜单元，光楔驱动组件驱动上光楔组件...
    2025-11-29
  • 版叉结构、掩模版传输装置及半导体设备
    版叉结构、掩模版传输装置及半导体设备_深圳市新凯来工业机器有限公司_202511509024.4
    本申请实施例提供一种版叉结构、掩模版传输装置及半导体设备，该版叉结构包括：版叉主体以及多个夹爪；版叉主体包括多个横梁，多个夹爪设置于多个横梁上；多个夹爪用于共同取放和承载掩模版容器；版叉主体内设置有移位驱动器，每个横梁内设置有定位导轨和多组...
    2025-11-29
  • 标记检测装置、光刻装置以及物品制造方法
    标记检测装置、光刻装置以及物品制造方法_佳能株式会社_202510645488.1
    本发明涉及标记检测装置、光刻装置以及物品制造方法。一种标记检测装置，检测设置于基板的对准标记的位置，其中，该标记检测装置具备：基板载置台，保持并移动所述基板；摄像部，包括用于对所述对准标记进行照明的光源和摄像所述对准标记的图像传感器；以及摄...
    2025-11-29
  • 一种打印机碳粉更换装置及其控制方法
    一种打印机碳粉更换装置及其控制方法_联想图像(山东)科技有限公司_202410635858.9
    本发明提供了一种打印机碳粉更换装置及其控制方法，涉及打印机技术领域，解决了现有技术中存在的人工更换碳粉易导致碳粉误吸入或碳粉排出到外界环境，导致影响人体健康以及污染环境的技术问题。该打印机碳粉更换装置及其控制方法包括清洁机构，清洁机构包括吹...
    2025-11-29
  • 电子照相导电性辊、处理盒、和电子照相图像形成设备
    电子照相导电性辊、处理盒、和电子照相图像形成设备_佳能株式会社_202510655286.5
    本发明涉及电子照相导电性辊、处理盒、和电子照相图像形成设备。一种电子照相导电性辊，其按顺序包含导电性基体、离子导电性弹性层、和表面层，所述表面层包含树脂和炭黑，并且所述表面层中的所述炭黑具有60.0nm以下的圆当量直径的算术平均值Rc和0....
    2025-11-29
  • 电子照相清洁刮板、处理盒、电子照相图像形成设备和氨基甲酸酯成形体
    电子照相清洁刮板、处理盒、电子照相图像形成设备和氨基甲酸酯成形体_佳能株式会社_202510650602.X
    本发明涉及电子照相清洁刮板、处理盒、电子照相图像形成设备和氨基甲酸酯成形体。一种电子照相清洁刮板，其包括包含聚氨酯的弹性构件和支承弹性构件的支承构件，其中，弹性构件的在1×10‑3Hz的振动频率时的贮存弹性模量为12.0至18.0MPa，在...
    2025-11-29
  • 一种全驱动船舶动力定位控制方法
    一种全驱动船舶动力定位控制方法_浙江大学_202511131049.5
    本发明公开了一种全驱动船舶动力定位控制方法，包括：(1)建立全驱动船舶的三自由度数学模型；(2)基于三自由度数学模型，建立船舶观测器动力学模型，融合位置、速度、加速度传感器数据，输出包括位置、速度、加速度及低频载荷成分的观测值；(3)基于状...
    2025-11-29
  • 一种低电平控制系统的低功率下实验验证装置和方法
    一种低电平控制系统的低功率下实验验证装置和方法_中国原子能科学研究院_202511165365.4
    本发明公开了一种低电平控制系统的低功率下实验验证装置和方法，该装置包括：主振荡器、低电平控制系统、功放1、高频谐振腔、功放2、高频电缆、示波器；高频谐振腔用于在大气环境下进行实验验证，通过取样器、自身的衰减、内杆，代大气环境下进行桌面实验验...
    2025-11-29
  • 一种垃圾焚烧发电脱酸工艺的优化控制方法
    一种垃圾焚烧发电脱酸工艺的优化控制方法_华能国际电力江苏能源开发有限公司南京电厂_202511170508.0
    本发明公开了一种垃圾焚烧发电脱酸工艺的优化控制方法及系统，涉及智能控制技术领域，包括，通过布置多路传感器采集脱酸塔的多源工况信息；对所述多源工况数据进行预处理并融合，得到工况特征向量和工况约束条件；基于所述工况特征向量，利用智能预测模型对酸...
    2025-11-29
  • 一种基于继电反馈控制的控制器参数自整定方法
    一种基于继电反馈控制的控制器参数自整定方法_天津津航技术物理研究所_202511234697.3
    本申请提供一种基于继电反馈控制的控制器参数自整定方法，包括以下步骤：获取伺服控制系统的实际运行参数，包括驱动电机的启动电压、反馈元件的测量噪声与力矩扰动综合引起的速率回路开环测量误差、以及控制量最大值，基于实际运行参数，得到继电反馈环节的以...
    2025-11-29
  • 一种用于源测量单元的自适应动态性能优化方法及系统
    一种用于源测量单元的自适应动态性能优化方法及系统_山东大学_202511408319.2
    本发明涉及一种用于源测量单元的自适应动态性能优化方法及系统，具体包括以下步骤：Step1：信号采集与性能指标提取：控制源测量单元输出一个阶跃信号，并采集输出响应波形数据；根据输出响应波形数据，计算当前输出波形的上升时间、稳定时间和超调量；S...
    2025-11-29
  • 一种真空炉炉膛结构及仿真优化方法
    一种真空炉炉膛结构及仿真优化方法_锦州远腾电炉科技有限公司_202511537157.2
    本发明公开了一种真空炉炉膛结构及仿真优化方法，涉及真空炉控制技术领域，本发明通过分布式传感器阵列实时采集各腔室在不同工艺阶段的压力值，利用滑动窗口法计算压力梯度并识别异常点；基于真空度偏差序列，采用PID控制算法生成目标抽气速率，通过伺服电...
    2025-11-29
  • 一种基于PID的电磁斥力机构闭环控制方法及系统
    一种基于PID的电磁斥力机构闭环控制方法及系统_浙江华电器材检测研究院有限公司_202511538650.6
    本发明公开了一种基于PID的电磁斥力机构闭环控制方法及系统，属于电磁斥力机构控制技术领域，通过实时监测斥力盘的当前运动状态，并与预设的目标运动状态进行比较，将两者之间的偏差进行PID计算和离散化处理得到状态量，根据状态量的大小和方向来对脉冲...
    2025-11-29
  • 一种用于镍带成品收卷的控制方法及系统
    一种用于镍带成品收卷的控制方法及系统_无锡腾达海川新材料有限公司_202510842019.9
    本发明涉及镍带成品收卷技术领域，公开了一种用于镍带成品收卷的控制方法及系统，该系统包括：收卷机构、放卷机构、导辊、纠偏结构和中控模块；中控模块包括采集层、判断层、优化层和执行层；采集层被配置为基于解析结果确定待收卷镍带的初始收卷参数；判断层...
    2025-11-29
  • 一种多关节机械臂自适应惯量估计方法及系统
    一种多关节机械臂自适应惯量估计方法及系统_山东新一代信息产业技术研究院有限公司_202510904351.3
    本发明公开了一种多关节机械臂自适应惯量估计方法及系统，属于机械臂系统控制技术领域，用于解决当前机械臂控制方法依赖于精确的机器人动力学模型，且需要大量的参数进行模型估计，这些条件在实际应用中往往难以满足的技术问题。方法包括：基于多关节机械臂系...
    2025-11-29
  • 一种无线电能传输系统的在线辨识和输入设计方法及装置
    一种无线电能传输系统的在线辨识和输入设计方法及装置_武汉大学_202511084471.X
    本发明提供一种无线电能传输系统的在线辨识和输入设计方法及装置，其中，该无线电能传输系统的在线辨识和输入设计方法包括：对目标系统的传递函数参数进行在线估测，并建立初始小信号模型；构建所述目标系统对应的全阶模型，并进行阶次自适应降阶处理；以最小...
    2025-11-29
  • 一种CIP清洁系统控制方法、装置、设备、介质及程序产品
    一种CIP清洁系统控制方法、装置、设备、介质及程序产品_江苏康缘药业股份有限公司_202511104005.3
    本发明涉及机器学习技术领域，公开了一种CIP清洁系统控制方法、装置、设备、介质及程序产品，根据CIP清洁系统的运行过程，构建概率布尔网络；基于概率布尔网络，构建CIP清洁系统的概率布尔网络强化学习模型；识别概率布尔网络中当前控制目标对应的当...
    2025-11-29
  • 一种雨季合流制溢流污水处理控制方法
    一种雨季合流制溢流污水处理控制方法_昆明市生态环境科学研究院_202511108341.5
    本发明公开了一种雨季合流制溢流污水处理控制方法，涉及污水处理技术领域。通过构建用于描述目标管网中水流动态行为的合流制排水系统模型，以及利用人工神经网络构建以降雨数据和管网监测数据为输入，以管网状态为输出的预测模型，利用预测模型输出未来时间步...
    2025-11-29
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