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编带生产线上的半导体芯片缺陷检测方法、系统及设备
本发明公开了编带生产线上的半导体芯片缺陷检测方法、系统及设备,涉及半导体制造技术领域,该方法包括:在编带输送轨道上安装多模态感知模块,实时采集半导体芯片的多模态数据流。搭建由特征提取通道和缺陷特征增强通道组成的多模态缺陷检测通道,进行并行缺...
一种评价页岩有机孔连通性的方法
本发明涉及一种评价页岩有机孔连通性的方法,包括以下步骤:(1)利用微米CT技术来获取页岩样品中有机质的三维连通性评价参数C有机质;(2)利用FIB‑SEM技术来获取页岩样品中有机孔的三维连通性评价参数C有机孔;(3)计算页岩有机孔三维连通性...
一种基于四维CT原位测试絮团随沉降过程动态变化的方法
本发明公开一种基于四维CT原位测试絮团随沉降过程动态变化的方法,涉及化学监测技术领域。所述方法包括:配制在阳离子溶液环境中高岭石絮凝沉降的絮团样品;设置CT扫描参数并获取所述絮团样品在沉降过程中的图像序列;对所述图像序列进行预处理并进行灰度...
软X射线能谱多模式液体样品池
本发明提供一种软X射线能谱多模式液体样品池,涉及同步辐射实验和软X射线能谱技术领域。本发明包括底座和盖板,盖板位于底座上方;底座的顶部设有放置槽,放置槽中从下至上依次设有窗口组件和压力块;底座的顶部设有主密封凹槽,主密封凹槽中设有主密封圈;...
一种基于罗兰圆的同步联动XAFS测量装置及方法
本发明提供一种基于罗兰圆的同步联动XAFS测量装置及方法,属于X射线分析测量技术领域。该装置包括固定设置的X射线源、主动驱动的旋转臂、运动平台、晶体单色器、探测器及相应的连杆和滑轨组件。通过旋转臂绕X射线源光源激发点的旋转运动,利用罗兰圆几...
一种天然萤石矿物晶格缺陷检测方法
本发明属于矿物材料检测技术领域,提供了一种天然萤石矿物晶格缺陷检测方法,通过XRD提供晶体结构信息,TEM实现原子级形貌观察,SIMS解析成分分布,拉曼/EPR确认电子/振动特征,四者协同覆盖缺陷的各个维度,适用于表征杂质取代、空位、间隙离...
一种湖相碳酸盐岩划分方法
本发明属于油气地质勘探技术领域,具体为一种湖相碳酸盐岩划分方法,该湖相碳酸盐岩划分方法的具体步骤如下:选取湖相混积沉积特征显著的研究区,明确目的层段,结合构造位置图与地层柱状图,确定样品采集范围覆盖“南部斜坡带、鼻状构造带、北部斜坡带”等不...
由厚HPF样品进行薄片准备
本申请涉及用于制备样品的技术。提供了一种方法,包括使离子束朝向样品的第一表面,以对该第一表面进行第一暴露处理。该样品可以限定该第一表面以及与该第一表面相对的第二表面。该方法可以包括使该样品相对于带电粒子束系统的射束轴B旋转角度β,以使第二表...
一种在术中间接监测血液中电解质的系统
本发明涉及一种在术中间接监测血液中电解质的系统。具体地,本发明提供了一种在术中间接监测血液中电解质的系统,包括:样品采集模块,包括尿液收集容器和检测容器,检测容器设有X射线可透过的膜;检测模块,包括X射线荧光光谱仪和控制器,X射线荧光光谱仪...
一种基于X射线双模态的锂电池极片分析装置及方法
本发明涉及一种基于X射线双模态的锂电池极片分析装置和方法,其中X射线源,垂直于锂电池极片,用于向锂电池极片上发出X射线;X射线荧光探测器,探测方向与X射线呈锐角,用于获取荧光射线,得到元素荧光图;X射线计数器,探测方向与锂电池极片垂直,X射...
未接地样本的带电粒子束检查的方法
本文公开了一种未接地样本的带电粒子束检查的方法,包括:开始用第一束带电粒子对样本的区域预充电;在晚于开始对该区域预充电的时间,开始用第二束带电粒子对该区域成像;其中该区域电未接地。从该区域的图像中,可以标识缺陷。
一种岩石微观破裂机制及应力演化的原位实时监测方法及系统
本发明提供一种岩石微观破裂机制及应力演化的原位实时监测方法及系统,方法包括如下步骤:S1、岩石样品标准化制备与预处理;S2、原位加载与多模态数据同步采集;S3、裂纹动态追踪与应力‑应变场联合计算;S4、微观‑宏观定量关联与损伤模型构建;S5...
电缆表面污染物附着实验装置
本申请涉及一种电缆表面污染物附着实验装置。本申请所述的电缆表面污染物附着实验装置,包括实验台、实验仓、污染物模拟机构、驱动机构和扫描机构,实验仓设置于实验台,实验仓设有第一容纳腔和探测口,探测口与第一容纳腔连通,第一容纳腔用于放置待测电缆,...
一种减少晶圆检测中铜溢出的方法
本发明专利公开了一种减少晶圆检测中铜溢出的方法,涉及晶圆检测领域,包括如下步骤:S1:对晶圆的目标观察区域进行标记;S2:通过FIB‑SEM系统对晶圆目标观察区域沉积无定形碳保护层,并进行分阶段离子束抛光制样;S3:通过内部充满惰性气体的手...
一种基于正电子发射粒子示踪技术的智能管道检测器及检测方法
本发明涉及一种基于正电子发射粒子示踪技术的智能管道检测器及检测方法,管道检测器包括:示踪颗粒投放模块,用于向管道内部定量投放示踪颗粒;正电子相机模块,用于在预设时间窗口内采集示踪颗粒释放的正电子对湮灭事件,生成多条符合响应线数据;示踪颗粒定...
一种多层膜的缺陷检测方法及相关装置
本申请公开了一种多层膜的缺陷检测方法及相关装置,可用于缺陷检测领域,该方法中,首先,获取对待测样品进行电子束扫描得到的目标图像;而后,基于待测样品的材料以及膜层结构,利用缺陷检测仿真模型构建多个具有不同缺陷特征的仿真样品;继而,利用缺陷检测...
一种基于光纤耦合的阴极射线荧光检测系统
本申请涉及一种基于光纤耦合的阴极射线荧光检测系统,涉及材料表征的技术领域,包括:光波收集装置,包括透镜套筒、光波收集镜和消色差透镜,所述光波收集镜设于透镜套筒靠近样品的一端,用于收集样品激发的阴极射线荧光并反射至消色差透镜,所述消色差透镜设...
用于观测布拉格峰区高能离子与物质作用辐射特性的装置
本发明涉及高能离子辐照技术领域,提供一种用于观测布拉格峰区高能离子与物质作用辐射特性的装置,包括:透明箱体、束流整形机构、束流准直机构、在线调节机构和X射线探测器;束流整形机构和束流准直机构相对设于透明箱体的外壁;在线调节机构上设有载物台,...
一种基于X射线的高精度煤质灰分检测系统及方法
本发明公开了一种基于X射线的高精度煤质灰分检测系统及方法,属于煤质分析技术领域,包括发射X射线的射线源、漫反射与光学模块以及信号处理单元,所述漫反射与光学模块用于对射线源发射的X射线进行处理和聚焦操作,所述漫反射与光学模块包括通过机械支架固...
一种表征固体催化剂中酸碱对空间邻近性的NMR方法及应用
本发明公开了一种表征固体催化剂中酸碱对空间邻近性的NMR方法及应用,包括通过选取氘代吡啶或三甲基膦探针分子表征酸中心,同时选取吡咯探针分子表征碱中心,以重要的固体催化剂分子筛、氧化物为例,开展一系列先进的一维及二维同核/异核相关NMR检测;...
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