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最新专利技术
  • 一种大型预制体防变形夹具型工装
    一种大型预制体防变形夹具型工装_内蒙古航天红岗机械有限公司_202512009006.6
    本发明一种大型预制体防变形夹具型工装，该夹具型工装是由角型夹具型工装及石墨绳组成，所述角型夹具对八边形的八棱柱进行夹持，通过石墨绳绑缚。所述角型夹具型工装材质采用石墨。角型夹具型工装采用了通气的方形打孔设计，可以使得等温化学气相沉积过程中气...
    2026-04-23
  • 一种化学气相沉积设备的装载锁及化学气相沉积设备
    一种化学气相沉积设备的装载锁及化学气相沉积设备_上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司_202512059783.1
    本发明涉及化学气相沉积领域，特别是涉及一种化学气相沉积设备的装载锁及化学气相沉积设备，包括装载基座、夹爪及驱动机构；装载基座开设有条形凹槽，夹爪设置于条形凹槽中，且能通过条形凹槽伸出装载基座的上表面，对晶圆进行夹持；夹爪包括多个夹臂；单个夹...
    2026-04-23
  • 薄膜沉积腔室及薄膜沉积设备
    薄膜沉积腔室及薄膜沉积设备_无锡金源半导体科技有限公司_202512018969.2
    本申请公开了一种薄膜沉积腔室及薄膜沉积设备，薄膜沉积腔室包括：具有腔的基座和设置于腔内的加热盘；支撑机构，包括支撑架和滑动载台，滑动载台有多个并相较于柱体的轴线往复可滑动；冷却机构，包括冷却板，冷却板一一对应拆卸设置于滑动载台；协同机构，用...
    2026-04-23
  • 基于PECVD循环沉积的多功能纳米复合防护薄膜及其制备方法
    基于PECVD循环沉积的多功能纳米复合防护薄膜及其制备方法_佛山市思博睿科技有限公司_202511634104.2
    本发明属于化学气相沉积领域，涉及基于PECVD循环沉积的多功能纳米复合防护薄膜及其制备方法。多功能纳米复合防护薄膜包括：硅烷打底层、疏水层、以及位于硅烷打底层与疏水层之间的软硬交替中间层；所述软硬交替中间层设置为中间软膜层和中间硬膜层的交替...
    2026-04-23
  • 氮化硅薄膜及其制备方法
    氮化硅薄膜及其制备方法_无锡芯卓湖光半导体有限公司_202512014153.2
    本发明提供了氮化硅薄膜及其制备方法。通过PECVD制备氮化硅薄膜的方法包括：将硅衬底晶圆置于反应腔室内；向反应腔室中通入氮气和氨气；向反应腔室施加第一高频功率，对氨气进行预处理；向反应腔室通入硅烷，并同时施加第二高频功率，进行沉积氮化硅薄膜...
    2026-04-23
  • 一种用于改善粘附力及应力调控的低温氮化硅顺序沉积法
    一种用于改善粘附力及应力调控的低温氮化硅顺序沉积法_盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司_202512043201.0
    本发明公开了一种用于改善粘附力及应力调控的低温氮化硅顺序沉积法，其属于低温氮化硅技术领域，其包括以下步骤S1：对晶圆进行预处理从而得到基底；S2：使用射频功率为1200W‑1400W，硅氮比为2 : 1‑5 : 1的原料进行预激活层沉积；S...
    2026-04-23
  • 一种用于改善粘附力及应力调控的低温氮化硅交叉沉积法
    一种用于改善粘附力及应力调控的低温氮化硅交叉沉积法_盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司_202512043203.X
    本发明公开了一种用于改善粘附力及应力调控的低温氮化硅交叉沉积法，其属于低温氮化硅技术领域，所述交叉沉积法包括以下步骤：S1：对晶圆进行预处理从而得到基底；S2：使用射频功率为1000W‑1200W，硅氮比为2 : 1‑5 : 1的原料进行预...
    2026-04-23
  • 一种利用分布式磁场调控MPCVD中等离子体均匀性的装置与方法
    一种利用分布式磁场调控MPCVD中等离子体均匀性的装置与方法_宁波晶钻科技股份有限公司_202610008239.6
    本发明公开一种利用分布式磁场调控MPCVD中等离子体均匀性的装置与方法，包括反应腔和设置在反应腔内的钼基台、多通道电流调控模块、红外测温模块、待生长衬底，所述待生长衬底放置于钼基台上，所述钼基台底部设有分布式磁感应线圈组，所述多通道电流调控...
    2026-04-23
  • 基于分布式天线阵列MPCVD腔内等离子体调控方法
    基于分布式天线阵列MPCVD腔内等离子体调控方法_宁波晶钻科技股份有限公司_202512010624.2
    本申请公开了基于分布式天线阵列MPCVD腔内等离子体调控方法，涉及等离子体调控领域，该方法包括搭建包含多源MPCVD反应腔包括：微波入射结构、分布式调节结构以及多源MPCVD反应腔；分布式调节结构包括多个等间距布置的等离子体调控部件；每个等...
    2026-04-23
  • 一种半导体高温反应腔的温度偏差校准方法
    一种半导体高温反应腔的温度偏差校准方法_上海新昇半导体科技有限公司_202512059032.X
    本申请提供一种半导体高温反应腔的温度偏差校准方法，属于半导体制造工艺技术领域。该方法包括：在基准半导体高温反应腔中，使用多个同源半导体衬底在不同基准温度下进行薄膜生长，并测量其形变量变化值，以建立温度‑形变量变化值的基准数学模型；随后，在待...
    2026-04-23
  • 一种铁酸铋薄膜及其制备方法
    一种铁酸铋薄膜及其制备方法_山东省科学院新材料研究所_202512016764.0
    本发明属于无机功能薄膜材料技术领域，尤其涉及一种铁酸铋薄膜及其制备方法。该铁酸铋薄膜，其化学通式为Bi(1+Z)Fe(1‑X)SbXO3，其中，X为Sb元素的摩尔量，0.08≤X≤0.20，元素Bi过量加入，所述薄膜共N层，第一层至第二层中...
    2026-04-23
  • 一种PCB化学镍金板及其制备方法
    一种PCB化学镍金板及其制备方法_无锡市同步电子科技股份有限公司_202512057539.1
    本发明涉及一种PCB化学镍金板及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：待镀PCB板依次经活化处理、沉镍处理和浸金处理得到PCB化学镍金板，所述PCB化学镍金板的金层平均厚度为0.0762~0.1μm；所述浸金处理的时间为600~700s；所...
    2026-04-23
  • 一种自催化化学复合镀镍磷和铜复合镀层的制备方法
    一种自催化化学复合镀镍磷和铜复合镀层的制备方法_中国科学院金属研究所_202511615261.9
    本发明公开了一种自催化化学复合镀NiP‑Cu复合镀层的制备方法，属于金属表面处理技术领域。该方法通过在化学镀镍磷镀液中引入铜盐，并优化络合剂体系与工艺参数，实现铜离子的自催化还原，形成纳米至微米级的铜颗粒，并与镍磷合金共沉积，获得性能优异的...
    2026-04-23
  • 一种基于同时对铜基材及铝合金基材进行前处理的化学镀镍方法
    一种基于同时对铜基材及铝合金基材进行前处理的化学镀镍方法_卡贝尼新材料科技(上海)有限公司_202511913922.6
    本发明涉及化学镀技术领域，具体公开了一种基于同时对铜基材及铝合金基材进行前处理的化学镀镍方法，包括如下步骤：步骤1：取铜基材和铝合金基材两种基材用脱脂液50‑60℃下脱脂处理13‑15min，再用活化液20‑25℃活化处理3‑5min；步骤...
    2026-04-23
  • 一种梯度Ni-P复合镀层结构及其制备方法
    一种梯度Ni-P复合镀层结构及其制备方法_东莞市龙之光光学有限公司_202610059295.2
    本发明公开了一种梯度Ni‑P复合镀层结构及其制备方法，涉及材料表面工程技术及模具制造领域，梯度Ni‑P复合镀层结构从玻璃模压模具基体表面向外依次包括：承载层、缓冲层和耐蚀层；承载层包括：磷(2wt.%‑6wt.%)、刚性增强材料和镍；缓冲层...
    2026-04-23
  • 复合金属箔及其制备方法、集流体和电池
    复合金属箔及其制备方法、集流体和电池_北京航空航天大学_202511876291.5
    本发明公开了一种复合金属箔及其制备方法、集流体和电池，其中，复合金属箔具有三明治结构，包括：MXene层；和，设置于所述MXene层两侧的化学镀金属层。其制备方法步骤包括：提供一基体；在所述基体表面覆载MXene材料，形成MXene层；将所...
    2026-04-23
  • 热浸镀锌钢丝的钝化处理装置
    热浸镀锌钢丝的钝化处理装置_天津华源线材制品有限公司_202610064026.5
    本发明提供了一种热浸镀锌钢丝的钝化处理装置，包括钝化箱体及其下方设置的过滤箱体，钝化箱体的出液端连通至过滤箱体，过滤箱体内设置沉淀单元，沉淀单元用于分离钝化液内的沉渣和絮凝物，过滤箱体底部设置外排单元，沉渣和絮凝物能够沉降至外排单元上，且外...
    2026-04-23
  • 一种硫化亚铁钝化剂及其制备方法和应用
    一种硫化亚铁钝化剂及其制备方法和应用_济南惠成达科技有限公司_202511782305.7
    本申请涉及金属防腐蚀或防锈处理的技术领域，具体涉及一种硫化亚铁钝化剂及其制备方法和应用。该钝化剂具体包括以下重量百分比的组分：过硫酸钠1‑5%；阴离子聚合物分散剂0.1‑1%；稳定剂0.1‑1%；有机胺类缓蚀剂0.1‑1%；含氮杂环类缓蚀剂...
    2026-04-23
  • 一种铝合金用耐磨耐腐蚀黑磷磷化膜复合涂层
    一种铝合金用耐磨耐腐蚀黑磷磷化膜复合涂层_西安建筑科技大学_202511787118.8
    本发明公开了一种铝合金用耐磨耐腐蚀黑磷磷化膜复合涂层，属于金属涂层技术领域。该复合涂层所述复合涂层由底层磷化膜和表层黑磷载油复合涂层组成，其制备方法是以常用工业铝合金为基体，先经磷化预处理形成过渡磷化膜，再通过浸涂法将黑磷载油复合浆料涂覆于...
    2026-04-23
  • 用于钢构件的水热黑色氧化物转化涂层工艺
    用于钢构件的水热黑色氧化物转化涂层工艺_通用汽车环球科技运作有限责任公司_202411648260.X
    提供了用于钢构件的水热黑色氧化物转化涂层工艺。公开了一种涂覆包括铁的部件的水热方法，该水热方法包括将包括铁的部件放置在包括至少一种氧化盐的黑色氧化物转化溶液中，将黑色氧化物转化涂层溶液加热到至少20℃，以及搅拌或循环黑色氧化物转化涂层溶液，...
    2026-04-23
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