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  • 本申请公开一种前驱体输送装置和半导体工艺设备, 涉及半导体技术领域。前驱体输送装置用于向半导体工艺腔室输送沉积薄膜所需的前驱体, 该前驱体输送装置包括气源容器、进气管路和排气管路;气源容器包括容器主体和设置于容器主体的容纳空间内的动力装置和...
  • 本发明公开了一种钨的沉积方法及等离子体设备, 沉积方法包含:提供一具有凹陷结构的基片;第一沉积步骤:在凹陷结构的侧壁和底部沉积第一沉积层, 第一沉积层至少包含第一钨材料层;处理步骤:向基片表面通入处理气体, 处理气体对第一沉积层进行处理, ...
  • 本发明公开了一种对带钢进行真空镀的系统, 其设于真空腔内, 所述系统包括沿着带钢的行走方向依次设置的:第一喷气沉积段、第一冷却段、第二喷气沉积段和第二冷却段;其中第一喷气沉积段和第二喷气沉积段分别设于带钢的第一表面侧以及与第一表面侧向背的第...
  • 本发明涉及薄膜器件工艺设备技术领域, 公开了一种薄膜器件工艺设备的控制参数调节方法及系统, 获取薄膜器件工艺设备上薄膜器件的加工反馈参数, 包括每个工艺腔室的加工反馈温度和加工反馈气压;对每个工艺腔室的加工反馈温度和加工反馈气压偏差分析, ...
  • 描述了一种用于在基板处理系统中的载体的热处理的设备。所述设备包括加热布置, 所述加热布置被配置为向所述载体提供热能, 所述加热布置包括一个或多个线圈。
  • 本发明提供一种工艺腔室及其控制方法以及半导体工艺设备。工艺腔室包括腔体以及设置于腔体内的顶针机构和加热件, 加热件用于在晶圆由顶针机构支撑的情况下加热晶圆;其中, 加热件与晶圆能够在第一位置关系和第二位置关系之间切换;在处于第一位置关系的情...
  • 本发明提供一种控温组件、承载装置、半导体工艺设备以及控制方法。其中控温组件包括加热装置和冷却装置;加热装置设置在半导体工艺设备的基座内部, 且位于基座承载面的下方;冷却装置可移动地设置在基座内部;冷却装置位于加热装置的下方, 且冷却装置与加...
  • 本发明公开了一种氧化硅基陶瓷型芯等离子溅射复合涂层的制备方法, 包括以下步骤:制备氧化硅基陶瓷型芯, 标记为型芯A;采用氧化钆作为靶材, 通过等离子溅射在型芯A外表面沉积氧化钆涂层, 标记为型芯B;根据高温合金中含有的活泼金属元素选择与该活...
  • 本公开涉及沉积掩模、制造沉积掩模的方法和电子装置。所述沉积掩模包括:基底;第一无机膜, 在所述基底上;以及掩模膜, 在所述第一无机膜上并且包括第二无机膜和第三无机膜。所述掩模膜的截面结构具有由通过对所述第二无机膜进行图案化获得的第二无机膜图...
  • 本公开涉及一种沉积掩模和电子装置。所述沉积掩模包括:掩模基底, 包括单元区域和单元外围区域;掩模膜, 定位在所述掩模基底的所述单元区域中并且包括像素开口和围绕所述像素开口的掩模遮蔽件;第一上无机层, 定位在所述掩模基底的所述单元外围区域上并...
  • 本发明提供一种炊具及其制造方法。其中, 炊具包括金属基材和高硅分子筛膜层。其中, 金属基材具有氮化处理层, 氮化处理层为金属基材的氮化物, 高硅分子筛膜层具有纳米级别的孔道结构, 设置在氮化处理层上, 以覆盖在氮化处理层的外侧。根据本发明实...
  • 本发明提供了一种低碳环保防锈处理的铸铁机体毛坯及其防锈工艺, 涉及防锈处理技术领域。低碳环保防锈处理的铸铁机体毛坯中氧化膜厚度为5‑25μm, 氧化膜孔隙率不高于15%, 氧化膜结合力不低于5Mpa。本发明防锈工艺处理得到的低碳环保的铸铁机...
  • 本发明提供一种金属基体上无粘结层的等离子喷涂高结合强度陶瓷涂层的制备方法, 包括:步骤1、将表面洁净的金属基体置于干燥空气中常温氧化, 使金属基体表面形成连续致密氧化膜;步骤2、将金属基体加热至特定温度后, 利用等离子喷涂装置将陶瓷粉末喷至...
  • 本发明提供一种用于电池模组母排的间隔式镀锡设备, 涉及母排加工领域, 包括将目标锡层分割为多个依次沉积的子锡层, 并在沉积过程中动态选择沉积策略以实时修正层间沉积偏差, 包括采集母排基板或当前已沉积的N层子锡层的状态数据;基于传感器组采集的...
  • 本申请提供了一种不粘材料及其制造方法、不粘炊具及其制造方法。其中, 制造不粘材料的方法包括提供分子筛材料, 用包括易水解的钛的化合物的混合溶液浸渍分子筛材料并热处理, 使得钛的化合物水解并转化为纳米二氧化钛, 包覆在分子筛材料的至少部分表面...
  • 本发明涉及耐磨防护涂层技术领域, 具体涉及矿山设备快速修复用耐磨防护涂层及其制备方法, 由复合涂层材料构成, 复合涂层材料包括:金属陶瓷基体粉末85‑92%和微胶囊8‑15%, 金属陶瓷基体粉末成分为WC‑10Co‑4Cr合金, 粒度15‑...
  • 本发明提供了一种减小镀锌管尾端甩尾锌瘤的方法及装置, 将锌锅内的镀锌管通过引上电磁辊导入到位输送组件, 且在到位输送组件一侧设置一个用于截停的镀锌管的缓动组件, 缓动组件的移动速度小于到位输送组件的输送速度, 通过差速将镀锌管在到位输送组件...
  • 本发明涉及冶金行业的热镀锌技术领域, 提供了一种用于检修炉鼻子的检修装置, 包括用于检修炉鼻子的检修小车, 还包括用于将检修小车送至检修位的运送组件, 运送组件包括可互相靠拢的两组检修载体, 每一检修载体具有至少两个移动平台, 两个移动平台...
  • 本发明公开了一种锌锅浮渣在线自动除渣设备及除渣方法, 设备包括机器人驱动系统、捞渣甩渣系统和干渣转运系统;机器人驱动系统用以识别锌锅液面的浮渣厚度, 确定锌锅捞渣位置, 并驱动捞渣甩渣系统移动;捞渣甩渣系统设于机器人驱动系统上;该捞渣甩渣系...
  • 本发明公开了一种锌渣净化用的防干扰筒及锌渣脱除装置和锌渣脱除方法, 其中锌渣净化用的防干扰筒包括一上端敞口、底端设有开孔的筒体结构;所述筒体结构在锌锅内沿高度方向上下垂直移动, 其设置在锌锅内流场平缓区域;该筒体结构用以接纳锌锅浮渣, 为热...
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