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龙图腾网恭喜芯嵛半导体(上海)有限公司申请的专利一种离子束角度测量装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221351760U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-07-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323512716.3，技术领域涉及：G01T1/29；该实用新型一种离子束角度测量装置是由陈维;陈炯设计研发完成，并于2023-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种离子束角度测量装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种离子束角度测量装置，属于半导体工艺设备技术领域，其设置在离子注入设备中，离子注入设备的工艺腔中设有扫描机器人，扫描机器人包括有依次相连接的底座、伸缩臂和翻转部，翻转部的一侧设置有静电卡盘，翻转部的另一侧设置有防护板，防护板上设置离子束角度测量装置；离子束角度测量装置包括有分析仪外壳，在分析仪外壳内设置有一排分析单元，分析单元包括有水平角度检测单元和垂直角度检测单元；每一个水平角度检测单元均包括有三个横向排列设置的检测器，每一个垂直角度检测单元均包括有三个纵向排列设置的检测器。本方案的检测分析和扫描采用同一机械臂，无累计误差，更为稳定可靠，并且便于调整扫描动作。

本实用新型一种离子束角度测量装置在权利要求书中公布了：1.一种离子束角度测量装置，其特征在于，其设置在离子注入设备中，离子注入设备的工艺腔中设有扫描机器人，扫描机器人包括有依次相连接的底座、伸缩臂和翻转部，底座与离子注入设备的工艺腔相连接，翻转部的一侧设置有用于承载晶圆的静电卡盘，翻转部的另一侧设置有防护板，防护板的尺寸不小于静电卡盘，防护板上设置所述离子束角度测量装置；所述离子束角度测量装置包括有分析仪外壳，在分析仪外壳内设置有一排分析单元，分析仪外壳上设有一排分析孔，分析单元与分析孔一一对应，分析单元包括有水平角度检测单元和垂直角度检测单元；每一个水平角度检测单元均包括有三个横向排列设置的检测器，位于中间的检测器露出于分析孔的面积占分析孔面积的一半以上；每一个垂直角度检测单元均包括有三个纵向排列设置的检测器，位于中间的检测器露出于分析孔的面积占分析孔面积的一半以上。

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