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龙图腾网恭喜宁波芯丰精密科技有限公司申请的专利晶圆寻边对中装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221379328U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-07-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323079648.6，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型晶圆寻边对中装置是由万先进;钱宇强;张怀东;田鑫;朱松;边逸军设计研发完成，并于2023-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆寻边对中装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆修边设备技术领域，具体公开了晶圆寻边对中装置。该装置用于寻边对中待处理晶圆，包括晶圆吸附旋转平台、晶圆对中装置、晶圆寻边装置和晶圆定位装置；晶圆吸附旋转平台包括能承载待处理晶圆的吸附转盘，吸附转盘选择性吸附待处理晶圆且能绕自身轴线旋转；晶圆对中装置包括若干周向于均布于吸附转盘周围的晶圆对中PIN针，所有的晶圆对中PIN针能同步靠近或远离吸附转盘的轴线；晶圆寻边装置能监测检查位置，旋转的待处理晶圆的平边经过检查位置；晶圆定位装置包括能靠近或远离吸附转盘的轴线的定位夹具，定位夹具能抵压位于调整位置的待处理晶圆的平边。该装置能够完成不同尺寸晶圆的对中及寻边操作。

本实用新型晶圆寻边对中装置在权利要求书中公布了：1.晶圆寻边对中装置，用于寻边对中待处理晶圆，其特征在于，包括：晶圆吸附旋转平台100，包括用于承载所述待处理晶圆的吸附转盘114，所述吸附转盘114选择性吸附所述待处理晶圆，所述吸附转盘114能绕所述吸附转盘114的轴线旋转；晶圆对中装置，包括若干周向于均布于所述吸附转盘114周围的晶圆对中PIN针200，所有的所述晶圆对中PIN针200能同步靠近或远离所述吸附转盘114的轴线；晶圆寻边装置300，用于监测检查位置，当所述待处理晶圆绕所述吸附转盘114的轴线旋转时，所述待处理晶圆的平边经过所述检查位置；晶圆定位装置400，包括定位夹具420，所述定位夹具420能靠近或远离所述吸附转盘114的轴线，所述定位夹具420用于抵压位于调整位置的所述待处理晶圆的平边。

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