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龙图腾网恭喜江苏凯威特斯半导体科技有限公司申请的专利一种用于清洗晶圆吸盘的溢流治具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221361483U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-07-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323221112.3，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种用于清洗晶圆吸盘的溢流治具是由陈开清;李伟东;虞梦顺;熊善宇;武腾飞设计研发完成，并于2023-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于清洗晶圆吸盘的溢流治具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于清洗晶圆吸盘的溢流治具，包括：顶盖和桶体；顶盖相适应的盖在桶体上，顶盖上设置有进水管；桶体上由上至下依次设置有水样测试口和出水口，出水口上设置有离心泵；桶体内侧设置有产品固定板和刻度线，产品固定板位于水样检测口与顶盖之间，刻度线位于产品固定板与顶盖之间；产品固定板上设置有产品固定位，晶圆吸盘相适应的放置在产品固定位上，在晶圆吸盘与产品固定板之间设置有密封圈。该装置上部有一个进水口底部有一个出水口，水流从上而下经过晶圆吸盘渗透下去冲洗间隙，冲洗过的水直接从出水口流出；在整个清洗过程中无需使用大量的人工，不仅省时省力而且可有效避免在冲洗过程中发生二次污染。

本实用新型一种用于清洗晶圆吸盘的溢流治具在权利要求书中公布了：1.一种用于清洗晶圆吸盘的溢流治具，其特征在于，包括：顶盖1和桶体2，所述顶盖1相适应的盖在所述桶体2上，所述顶盖1上设置有进水管4；所述桶体2上由上至下依次设置有水样测试口5和出水口6，所述出水口6上设置有离心泵7；所述桶体2内侧设置有产品固定板8和刻度线9，所述产品固定板8位于所述水样测试口5与所述顶盖1之间，所述刻度线9位于所述产品固定板8与所述顶盖1之间；所述产品固定板8上设置有产品固定位10，所述产品固定位10与晶圆吸盘3相适应设置，在所述晶圆吸盘3与所述产品固定板8之间设置有密封圈11。

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