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龙图腾网恭喜倍特微半导体科技(江苏)有限公司申请的专利一种干法刻蚀机的顶升机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221379287U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-07-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323490816.0，技术领域涉及：H01J37/20；该实用新型一种干法刻蚀机的顶升机构是由吴钦;杨志华设计研发完成，并于2023-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种干法刻蚀机的顶升机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种干法刻蚀机的顶升机构，包括第二安装架，其特征在于：所述第二安装架底部内壁放置有安装盘，所述安装盘顶部安装有定位组件，所述定位组件包括安装盘顶部外壁开设的多个等距离分布的第二限位滑槽，多个所述第二限位滑槽内部均滑动连接有安装块，多个所述安装块顶部外壁顶部外壁均固定连接有定位杆，所述安装盘顶部外壁对中转动连接有驱动盘，所述驱动盘当中开设有多个弧形驱动槽，多个所述驱动槽分别套设在多个定位杆外部，所述驱动盘当中螺纹连接有螺栓，本实用新型通过设置定位组件，能够适应不同规格即不同直径硅片的加工工作，使得多种硅片都能得到准确的加工，从而保证装置的适应性更强。

本实用新型一种干法刻蚀机的顶升机构在权利要求书中公布了：1.一种干法刻蚀机的顶升机构，包括第二安装架2，其特征在于：所述第二安装架2底部内壁放置有安装盘4，所述安装盘4顶部安装有定位组件7，所述定位组件7包括安装盘4顶部外壁开设的多个等距离分布的第二限位滑槽701，多个所述第二限位滑槽701内部均滑动连接有安装块702，多个所述安装块702顶部外壁均固定连接有定位杆703，所述安装盘4顶部外壁对中转动连接有驱动盘704，所述驱动盘704当中开设有多个弧形驱动槽705，多个所述驱动槽705分别套设在多个定位杆703外部。

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