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龙图腾网恭喜芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利排风系统和半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221361809U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-07-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323089938.9，技术领域涉及：B08B15/04；该实用新型排风系统和半导体设备是由干怀渝;滕跃;任亚辉;潘志明设计研发完成，并于2023-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本排风系统和半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种排风系统和半导体设备，排风系统包括排风单元和高度调节单元；排风单元设置于清洗槽的两对称外侧壁，排风单元包括相连通的汇流腔体和进风部，进风部设置于排风单元靠近顶端部的侧壁，且进风部朝向清洗槽设置；高度调节单元包括排风管路，排风管路设置于排风单元的底端部，且排风管路的两端分别与汇流腔体和厂务排气管路连通，排风管路滑动设置于固定底板，以带动排风单元沿清洗槽侧壁的高度方向上下运动。本实用新型的气体流场由上往下流动，晶圆无“切割”气体流场现象，避免了晶圆在传送的过程中受机台内部环境影响而导致破损等，而且机台内部气体流场更加稳定，对清洗槽中挥发性气体的收集效率高，保证了晶圆的良率。

本实用新型排风系统和半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种排风系统，其特征在于，包括：排风单元，设置于清洗槽的两对称外侧壁，所述排风单元包括相连通的汇流腔体和进风部，所述进风部设置于所述排风单元靠近顶端部的侧壁，且所述进风部朝向所述清洗槽设置；高度调节单元，包括排风管路，所述排风管路设置于所述排风单元的底端部，且所述排风管路的两端分别与所述汇流腔体和厂务排气管路连通，所述排风管路滑动设置于固定底板，以带动所述排风单元沿所述清洗槽侧壁的高度方向上下运动。

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