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龙图腾网恭喜山东芯源微电子有限公司申请的专利一种半导体膜余料回收装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221360651U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-07-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323289930.7，技术领域涉及：B05B14/00；该实用新型一种半导体膜余料回收装置是由汪良恩;王锡康;姜兰虎;乔建明设计研发完成，并于2023-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体膜余料回收装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体膜余料回收装置，涉及半导体膜加工制造技术领域，包括支撑机构、驱动机构、夹持机构和抽吸机构，驱动机构与夹持机构连接，抽吸机构与夹持机构连接；抽吸机构包括抽吸容器和气泵，抽吸容器包括主体、抽吸管、抽气管和储存仓，主体的侧壁分别与抽吸管和抽气管连通，抽吸管的下端设有抽吸口，抽吸口低于存仓的底面；抽气管通过气管与气泵连接。负压气泵抽取抽吸容器内的空气，抽吸管下端的抽吸口产生负压，将喷涂在工作台上的流体状半导体膜余料抽吸进入储存仓，实现对半导体膜余料的回收。驱动机构包括第一驱动轨、第二驱动轨，能够带动抽吸机构的抽吸口接触或远离工作台上表面的余料，实现对抽吸作业启停状态的控制。

本实用新型一种半导体膜余料回收装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体膜余料回收装置，其特征在于：包括支撑机构（1）、驱动机构（2）、夹持机构（3）和抽吸机构（4），所述驱动机构（2）与所述夹持机构（3）连接，所述抽吸机构（4）与所述夹持机构（3）连接；所述抽吸机构（4）包括抽吸容器（41）和气泵，所述抽吸容器（41）呈壳状结构，所述抽吸容器（41）包括主体、抽吸管（411）、抽气管（412）和可拆卸的储存仓（413），所述主体位于所述储存仓（413）的上方，所述主体的侧壁分别与所述抽吸管（411）和所述抽气管（412）连通，所述抽吸管（411）的下端设有抽吸口，所述抽吸口低于所述存仓的底面；所述抽气管（412）通过气管与所述气泵连接。

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