恭喜北京和崎精密科技有限公司戚汉凌获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京和崎精密科技有限公司申请的专利晶圆定位器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221379326U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-07-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202322926859.2,技术领域涉及:H01L21/68;该实用新型晶圆定位器是由戚汉凌设计研发完成,并于2023-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆定位器在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种晶圆定位器,包括:壳体,包括依次设置的下壳、中壳和上壳,中壳连接在上壳与下壳之间,上壳与下壳之间限定有适于晶圆进入的检测空间;以及,点式激光测距传感器和或线面式激光测距传感器,其中,点式激光测距传感器设置于中壳,并配置成向检测空间投射第一检测激光;线面式激光测距传感器设置于上壳,并配置成向检测空间投射第二检测激光。根据本实用新型的一个方面,中壳设置有可供第一检测激光通过的第一通孔;和或,上壳设置有可供第二检测激光通过的第二通孔。晶圆定位器既可以对没有键合载板的晶圆进行定位,也可以对键合有载板的晶圆进行的定位。
本实用新型晶圆定位器在权利要求书中公布了:1.一种晶圆定位器,其特征在于,包括:壳体,包括依次设置的下壳、中壳和上壳,所述中壳连接在所述上壳与所述下壳之间,所述上壳与所述下壳之间限定有适于晶圆进入的检测空间;以及,点式激光测距传感器和或线面式激光测距传感器,其中,所述点式激光测距传感器设置于所述中壳,并配置成向所述检测空间投射第一检测激光;所述线面式激光测距传感器设置于所述上壳,并配置成向所述检测空间投射第二检测激光。
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