恭喜英诺赛科(珠海)科技有限公司陈学敏获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜英诺赛科(珠海)科技有限公司申请的专利一种外延设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221379314U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-07-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323223694.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种外延设备是由陈学敏;赵志远设计研发完成，并于2023-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种外延设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种外延设备。外延设备包括基座、晶圆盘、隔板、冷却盖板和腔室盖板；晶圆盘位于基座上；隔板位于晶圆盘远离基座的一侧；冷却盖板位于隔板远离基座的一侧；其中，冷却盖板包括外环板和内环板，外环板围绕内环板设置，外环板上设置有至少一个过孔；腔室盖板位于冷却盖板远离基座的一侧，并覆盖晶圆盘、隔板与冷却盖板。本实用新型的技术方案避免了与外环板相邻的隔板的边缘温度变化较快，从而可以降低隔板边缘处的热应力，避免隔板的边缘产生变形，进而避免隔板上产生裂缝，从而达到保护隔板的效果，有利于提升外延设备的使用寿命。
本实用新型一种外延设备在权利要求书中公布了：1.一种外延设备，其特征在于，包括：基座；晶圆盘，位于所述基座的第一侧；隔板，位于所述晶圆盘远离所述基座的一侧；冷却盖板，位于所述隔板远离所述基座的一侧；其中，所述冷却盖板包括外环板和内环板，所述外环板围绕所述内环板设置，所述外环板上设置有至少一个过孔；腔室盖板，位于所述冷却盖板远离所述基座的一侧，并覆盖所述晶圆盘、所述隔板与所述冷却盖板。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人英诺赛科(珠海)科技有限公司，其通讯地址为：519100 广东省珠海市高新区金园二路39号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号