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龙图腾网恭喜合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利一种基板检测装置及其检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112309889B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-07-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910710985.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种基板检测装置及其检测方法是由李发君;李淑慧;丁百龙设计研发完成，并于2019-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基板检测装置及其检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种基板检测装置及其检测方法，涉及半导体检测技术领域。本发明的检测装置包括：工作腔；静电卡盘安装在所述工作腔内；升降装置贯穿安装在静电卡盘上，相对静电卡盘上下移动；多个支撑部件安装在升降装置顶部，且贯穿静电卡盘；升降装置驱动支撑部件在垂直于静电卡盘的平面内相对于静电卡盘上下移动；多个固定件安装在静电卡盘边缘处，且每个固定件的一端与静电卡盘的边缘相连接；多个测距装置安装在所述静电卡盘的相对侧且与静电卡盘非接触；每个测距装置与支撑部件一一对应设置；每个测距装置的接收面朝向相应的支撑部件和固定件所在的位置。本发明通过测距装置的设计，解决了无法确认基板在装置平台上的位置是否有偏差的问题。

本发明授权一种基板检测装置及其检测方法在权利要求书中公布了：1.一种基板检测方法，其特征在于，其至少包括以下步骤：将所述基板放置在升降装置顶部且贯穿静电卡盘的多个支撑部件上，所述升降装置驱动所述支撑部件在垂直于所述静电卡盘的平面内相对于所述静电卡盘上下移动；所述静电卡盘安装在检测装置的工作腔内；所述升降装置贯穿安装在所述静电卡盘上，相对所述静电卡盘上下移动；所述多个支撑部件上表面高于所述静电卡盘表面；依据安装在所述静电卡盘的相对侧且与所述静电卡盘非接触的测距装置采集的所述测距装置接收面与相对应的所述支撑部件处所述基板表面之间的距离数据，判断所述基板是否处于正确位置；每个所述测距装置与所述支撑部件一一对应设置；每个所述测距装置的接收面朝向相应的所述支撑部件和固定件所在的位置；若确认所述基板处于正确位置，则下降所述升降装置将所述基板放置在所述静电卡盘的表面上；所述基板放置在所述静电卡盘的表面上后，采集所述测距装置接收面与所述静电卡盘表面之间的距离数据，判断所述基板是否处于正确位置；将所述基板与所述静电卡盘通过固定件相固定，并对所述基板进行检测；所述多个固定件安装在所述静电卡盘边缘处，且每个所述固定件的一端与所述静电卡盘的边缘相连接；所述固定件的一端与所述静电卡盘的边缘转动连接或铰接，所述固定件与所述支撑部件上下叠置；检测完成后打开所述固定件后所述升降装置上升，使所述基板与所述静电卡盘脱离；在打开所述固定件之后，采集所述测距装置接收面与所述静电卡盘表面之间的距离数据，判断所述固定件是否完全打开。

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