买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜东莞市华盛鑫精密制造有限公司申请的专利半导体硅晶圆表面瑕疵多视角视觉检查治具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110702695B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-07-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910925628.5，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权半导体硅晶圆表面瑕疵多视角视觉检查治具是由林火旺;刘立清;廖文民设计研发完成，并于2019-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体硅晶圆表面瑕疵多视角视觉检查治具在说明书摘要公布了：本发明公开一种半导体硅晶圆表面瑕疵多视角视觉检查治具，包括有机架、活动架、摆动架、承托装置、第一驱动机构以及第二驱动机构；该承托装置包括有球轴以及托盘；通过将摆动架的下端与活动架的上端铰接，并配合第一驱动机构带动活动架水平横向及纵向活动，从而通过活动架的水平横向或者纵向活动来控制摆动架万向摆动，球轴通过球头可万向摆动地安装在机架上，而且球轴的下端可转动地安装在摆动架上，从而使得球轴可以随着摆动架的摆动而相应摆动；以及，通过于摆动架上设置有第二驱动机构，从而利用第二驱动机构带动球轴转动；通过第一驱动机构和第二驱动机构来让硅晶圆朝不同方向摆动，这样就可以从多个角度对硅晶圆进行全面的检查。

本发明授权半导体硅晶圆表面瑕疵多视角视觉检查治具在权利要求书中公布了：1.一种半导体硅晶圆表面瑕疵多视角视觉检查治具，其特征在于：包括有机架、活动架、摆动架、承托装置、第一驱动机构以及第二驱动机构；该活动架可水平横向及纵向来回活动地设置；该摆动架的下端与活动架的上端铰接；该承托装置包括有球轴以及用于承托半导体硅晶圆的托盘，该球轴具有一球头，球轴通过球头可万向摆动地安装在机架上，托盘固定在球轴的顶端，球轴的下端可转动地安装在摆动架上，从而使得球轴随着摆动架的摆动而相应的朝不同方向摆动；该第一驱动机构设置于机架上并带动活动架水平横向及纵向来回活动；该第二驱动机构设置于摆动架并带动球轴转动；所述活动架包括有活动座和连接杆，该连接杆可转动地竖向安装在活动座上，连接杆的上端与摆动架的下端铰接；通过将摆动架的下端与活动架的上端铰接，并配合第一驱动机构带动活动架水平横向及纵向来回活动，从而通过活动架的水平横向或者纵向活动来控制摆动架进行万向摆动，球轴通过球头可万向摆动地安装在机架上，而且球轴的下端可转动地安装在摆动架上，从而使得球轴可以随着摆动架的摆动而相应摆动，实现第一驱动机构来控制球轴万向摆动的功能；所述第二驱动机构包括有电机、主动带轮和从动带轮；该电机固定在摆动架上，该主动带轮安装在电机的输出轴上，该从动带轮固定在球轴的下端，从动带轮与主动带轮之间连接有传动皮带；所述托盘内具有一气腔，托盘具有一与半导体硅晶圆相适配的凹位，凹位的底面开设有多个气孔，该多个气孔间隔排布并均连通气腔，并且该球轴的上下端面贯穿有气道，该气道的上端与气腔连通；所述机架的侧面封装有侧板，该机架的顶面封装有顶板，该活动架、摆动架、第一驱动机构和第二驱动机构均位于机架内，该球头外露于顶板的表面，该托盘位于顶板的上方。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东莞市华盛鑫精密制造有限公司，其通讯地址为：523000 广东省东莞市塘厦镇高丽五路15号1栋101室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。