买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜罗伯特·博世有限公司申请的专利用于制造MEMS传感器的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110937569B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-07-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910911142.6，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权用于制造MEMS传感器的方法是由D·豪格;M·克瑙斯;T·亨设计研发完成，并于2019-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于制造MEMS传感器的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于制造MEMS传感器的方法，包括步骤：‑提供MEMS结构，具有用于MEMS结构中的空缺部的至少一个入口，‑将MEMS结构施加在载体结构上，使得通过MEMS结构中的空缺部形成载体结构和MEMS结构之间的腔，该腔能够通过至少一个入口加载以介质，‑密封MEMS结构和载体结构之间的中间空间，使得腔除了至少一个入口之外是密封的，并且‑通过至少一个入口使腔和至少一个入口填充以介质。

本发明授权用于制造MEMS传感器的方法在权利要求书中公布了：1.用于制造MEMS传感器1的方法，所述方法包括以下步骤：-提供MEMS结构2，该MEMS结构2具有框架10、具有功能层12的岛25和呈弹簧结构28的形式的应力解耦结构，所述弹簧结构28使所述岛25与所述框架10连接，其中，所述MEMS结构2具有用于在所述MEMS结构2中的空缺部21的至少一个入口11，所述至少一个入口11位于所述弹簧结构28的区域中，-将所述MEMS结构2施加在载体结构上，使得通过所述MEMS结构2的所述空缺部21形成在载体结构和MEMS结构2之间的腔22，该腔22能够通过所述至少一个入口11被加载以介质13，-密封所述MEMS结构2和所述载体结构之间的中间空间23，使得所述腔22除了所述至少一个入口11之外是密封的，并且-通过所述至少一个入口11以介质13填充所述腔22和所述至少一个入口11。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人罗伯特·博世有限公司，其通讯地址为：德国斯图加特；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。