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龙图腾网恭喜浙江启尔机电技术有限公司申请的专利一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113138538B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-07-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010055161.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2020-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置。所述装置包包括浸液供给通道、浸液回收通道以及抽排开口，在抽排开口和注气开口之间设置缓冲腔，使弯液面在向外运动时压缩缓冲腔；缓冲腔受压缩后会增强气密封压力，提高气密封对弯液面的约束效果。设计注气开口到抽排开口的流道流阻显著小于注气开口到外部开放环境的流道流阻，使来自注气开口的密封气体大部分流向缓冲腔和抽排开口，可以增大缓冲腔对衬底运动速度的适应范围。

本发明授权一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置在权利要求书中公布了：1.一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置，包括主体、抽排开口、注气开口以及缓冲腔，其特征在于：所述抽排开口沿周向布置于主体朝向衬底的一面；所述注气开口沿周向布置于所述抽排开口的径向外侧；所述缓冲腔设置于所述抽排开口与所述注气开口之间，缓冲腔是一个环形腔体，与所述抽排开口连通并位于其末端；所述注气开口到所述浸液供给回收装置外边缘的距离至少是所述注气开口到所述抽排开口的距离的4倍；所述缓冲腔具有适应弯液面形状的弯曲边缘；所述抽排开口与所述注气开口之间的端面具有到衬底的最小距离。

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