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龙图腾网恭喜科睿迅(上海)材料科技有限公司申请的专利用于清洁半导体晶圆的刷辊的内杆获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221675079U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323645209.7，技术领域涉及：B08B1/32；该实用新型用于清洁半导体晶圆的刷辊的内杆是由郭根江;刘嘉妮设计研发完成，并于2023-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于清洁半导体晶圆的刷辊的内杆在说明书摘要公布了：本实用新型公开用于清洁半导体晶圆的刷辊的内杆，包括中空的内杆、配置于内杆一端的进水端以及配置于内杆另一端的末端，内杆的横截面为多边形，所述多边形至少包括八条边且边数为偶数条，所述内杆外表面配置有由边条和纵隔板交替组成的多条棱，每条棱沿着内杆轴向从进水端延伸至末端，边条和纵隔板之间沿着内杆轴向形成有水槽，水槽上等间距布有多个出水孔。该内杆利用多边形外形以及纵横隔板上的结构设计，使得PVA海绵稳定的固定在内杆上，有效防止扭曲和空转的发生。此外，利用内杆上的水槽与出水孔设计，使得清洗液分布均匀且PVA刷辊的保湿性能有所提升。

本实用新型用于清洁半导体晶圆的刷辊的内杆在权利要求书中公布了：1.用于清洁半导体晶圆的刷辊的内杆，其特征在于，包括中空的内杆10、配置于所述内杆10一端的进水端20以及配置于所述内杆10另一端的末端30，所述内杆10的横截面为多边形，所述多边形至少包括八条边且边数为偶数条，所述内杆10外表面配置有由边条11和纵隔板12交替组成的多条棱，每条棱沿着所述内杆10轴向从所述进水端20延伸至所述末端30，所述边条11和所述纵隔板12之间沿着所述内杆10轴向形成有水槽13，所述水槽13上等间距布有多个出水孔14。

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