恭喜长沙里妍环保科技有限公司韩江川获国家专利权
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龙图腾网恭喜长沙里妍环保科技有限公司申请的专利一种晶圆硅片用定位装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221687504U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202322873785.0,技术领域涉及:H01L21/68;该实用新型一种晶圆硅片用定位装置是由韩江川;冯薇薇;朱亚男设计研发完成,并于2023-10-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆硅片用定位装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开晶圆硅片定位设备技术领域,具体的说是一种晶圆硅片用定位装置,包括底座,所述底座顶端表面开设有可用于调节的滑孔,且滑孔有四组,所述滑孔内侧滑动安装有可用于调节的滑座,且底座内侧转动安装有可用于传动的盘体;当需要对晶圆硅片进行定位时,能够使得底座内侧的伺服电机运作,伺服电机运作方便在减速器A运作下带动锥形齿轮旋转,锥形齿轮与环形齿相互啮合并带动盘体进行转动,随后盘体顶部的螺旋槽方便与滑座底部的齿牙相互啮合,使得滑座能够在底座顶部的滑孔中滑动位移,随后滑座方便带动夹板对晶圆硅片进行定位,方便后续对其进行加工,且电动调节的方式更为简单便捷,同时效率较高。
本实用新型一种晶圆硅片用定位装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆硅片用定位装置,其特征在于,包括底座1,所述底座1顶端表面开设有可用于调节的滑孔2,且滑孔2有四组,所述滑孔2内侧滑动安装有可用于调节的滑座3,且底座1内侧转动安装有可用于传动的盘体4,且盘体4顶端表面开设有与滑座3底端表面相契合连接的螺旋槽5,所述盘体4底端表面一体构造有可用于传动的环形齿6,所述滑座3顶端表面装配有可用于晶圆硅片定位的夹板12,所述底座1内侧通过螺栓装配有可用于转化扭矩的减速器A7,且减速器A7动力输出端装配有与环形齿6相啮合连接的锥形齿轮8;所述底座1顶端表面转动安装有可用于传动的转轴9,且转轴9顶端表面装配有可用于放置晶圆硅片的托盘10,所述底座1内侧装配有与转轴9相传动连接的减速器B11,所述减速器B11与减速器A7动力输入端均装配有伺服电机13。
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