恭喜拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司李本鑫获国家专利权
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龙图腾网恭喜拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请的专利半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221681197U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323231479.3，技术领域涉及：C23C16/505；该实用新型半导体工艺设备是由李本鑫;蔡新晨;于棚;林轩宇;滕天娇;路晓妍;苏欣;周伟杰;何源;裴明远设计研发完成，并于2023-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种半导体工艺设备，涉及半导体设备技术领域。半导体工艺设备包括工艺腔体。工艺腔体包括本体、加热盘、喷淋板和隔热板。加热盘设置于工艺腔体内，且与本体的底壁间隔设置，喷淋板与加热盘间隔且对应设置。本体设置有用于与传输腔体连通的传输通道。隔热板设置于本体的底壁与加热盘之间，且隔热板与传输通道对应的区域形成有缺口。可以提高镀膜的均匀性。
本实用新型半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括工艺腔体，所述工艺腔体包括本体、加热盘、喷淋板和隔热板；所述加热盘设置于所述工艺腔体内，且与所述本体的底壁间隔设置，所述喷淋板与所述加热盘间隔且对应设置；所述本体设置有用于与传输腔体连通的传输通道；所述隔热板设置于所述本体的底壁与所述加热盘之间，且所述隔热板与所述传输通道对应的区域形成有缺口。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司，其通讯地址为：110179 辽宁省沈阳市浑南区水家900号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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