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龙图腾网恭喜捷造科技(宁波)有限公司申请的专利一种大面积showerhead部件屏蔽机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221681198U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420078194.6，技术领域涉及：C23C16/505；该实用新型一种大面积showerhead部件屏蔽机构是由张迎春;刘长见设计研发完成，并于2024-01-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种大面积showerhead部件屏蔽机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种大面积showerhead部件屏蔽机构，包括：上盖板与下盖板，所述上盖板与下盖板组合形成内部空腔结构，在所述下盖板的内部底面的边际区域阵列分布有多个弹触单元，所述弹触单元包括至少一个压缩弹簧，所述压缩弹簧使所述上盖板与下盖板有活动间隙，在所述压缩弹簧的一侧设置对应的导电铜片，所述导电铜片为具有一定宽度的立式C字型结构，且开口朝向为环绕所述边际区域的方向。本实用新型的优点是：屏蔽了边缘效应和驻波效应，避免Showerhead四周出现镀膜不均的现象，做到四个区域的镀膜互不影响，解决绕镀和边缘效应的问题。

本实用新型一种大面积showerhead部件屏蔽机构在权利要求书中公布了：1.一种大面积showerhead部件屏蔽机构，其特征在于，包括：上盖板与下盖板，所述上盖板与下盖板组合形成内部空腔结构，在所述下盖板的内部底面的边际区域阵列分布有多个弹触单元，所述弹触单元包括至少一个压缩弹簧，所述压缩弹簧使所述上盖板与下盖板有活动间隙，在所述压缩弹簧的一侧设置对应的导电铜片，所述导电铜片为具有一定宽度的立式C字型结构，且开口朝向为环绕所述边际区域的方向。

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