买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜上海健照半导体科技有限公司申请的专利一种光刻机远端调试架台显示装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221686818U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420074001.X，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光刻机远端调试架台显示装置是由王威润;杨伟才;付帅设计研发完成，并于2024-01-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻机远端调试架台显示装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光刻机远端调试架台显示装置，涉及光刻机技术领域，包括支撑机构、主体机构和定位观测机构；所述主体机构包括干涉仪接收端和电路板，所述干涉仪接收端共设置多个，多个干涉仪接收端的外表壁均套设绝缘套；本实用新型通过设置多个干涉仪接收端，在多个干涉仪接收端的外表壁均套设绝缘套，提高该装置的安全性，设置探针与干涉仪接收端电性连接，同轴电缆和示波器电性连接，观察不同线路连接后的电信号波形，避免人为切换效率低，操作不当损坏设备的情况；通过电机带动丝杆与滑块旋转连接，使滑块在滑槽的内部滑动，调整内窥摄像头的成像范围，利用视频线连接显示屏和内窥摄像头，便于通过显示屏观察电信号。

本实用新型一种光刻机远端调试架台显示装置在权利要求书中公布了：1.一种光刻机远端调试架台显示装置，其特征在于，包括支撑机构1、主体机构2和定位观测机构3；所述主体机构2包括干涉仪接收端201和电路板205，所述干涉仪接收端201共设置多个，多个干涉仪接收端201的外表壁均套设绝缘套202，多个所述绝缘套202的内部均插设探针203，所述探针203与干涉仪接收端201电性连接，多个所述探针203的一端均固定连接导线204，所述电路板205的一侧固定设置多个连接端206和输出端207，多个所述导线204的一端分别与多个连接端206固定连接，多个所述输出端207的一侧均固定连接同轴电缆208，多个所述同轴电缆208的一端均固定连接示波器209。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海健照半导体科技有限公司，其通讯地址为：201100 上海市闵行区莘凌路211号8幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。