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恭喜广东阿达智能装备有限公司贺云波获国家专利权

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龙图腾网恭喜广东阿达智能装备有限公司申请的专利晶元校正装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN109994415B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910296428.8,技术领域涉及:H01L21/68;该发明授权晶元校正装置是由贺云波;王波;刘青山;刘凤玲;陈桪设计研发完成,并于2019-04-13向国家知识产权局提交的专利申请。

晶元校正装置在说明书摘要公布了:本发明涉及一种晶元校正装置,包括:底座;第一输送机构,所述第一输送机构包括设置于所述底座上的第一驱动件、及与第一驱动件驱动连接的第一固定组件,所述第一驱动件用于驱动所述第一固定组件往返于取料位及校正位;第二输送机构,所述第二输送机构包括设置于所述底座上的驱动组件、及与驱动组件驱动连接的第二固定组件,所述驱动组件用于驱动所述第二固定组件往返于所述取料位及所述校正位,且所述驱动组件还用于使所述第二固定组件避让于所述第一固定组件;及校正机构,所述校正机构用于对所述校正位上的晶元进行校正。上述的晶元校正装置如此循环工作,能够有效提高晶元的校正效率。

本发明授权晶元校正装置在权利要求书中公布了:1.一种晶元校正装置,其特征在于,包括:底座;第一输送机构,所述第一输送机构包括设置于所述底座上的第一驱动件、及与所述第一驱动件驱动连接的第一固定组件,所述第一驱动件用于驱动所述第一固定组件往返于取料位及校正位;第二输送机构,所述第二输送机构包括设置于所述底座上的驱动组件、及与所述驱动组件驱动连接的第二固定组件,所述驱动组件用于驱动所述第二固定组件往返于所述取料位及所述校正位,且所述驱动组件还用于使所述第二固定组件避让于所述第一固定组件;及校正机构,所述校正机构用于对位于所述校正位的晶元进行校正,所述校正机构包括固定座、设置于所述固定座上的第四驱动件、与所述第四驱动件驱动连接的连接块、设置于所述连接块上的第五驱动件、及与所述第五驱动件驱动连接的校正元件;所述校正元件包括第一校正壁、与所述第一校正壁间隔相对的第二校正壁、及连接着所述第一校正壁及所述第二校正壁的第三校正壁,且所述第一校正壁、第二校正壁及第三校正壁配合形成可供晶元放置的校正缺口;所述第四驱动件带动所述校正元件沿第一方向移动,从而使得所述第一校正壁和所述第二校正壁与晶元的其中两侧接触,以校正晶元的横向位置,所述第五驱动件带动所述校正元件沿第三方向移动,从而使得所述第三校正壁与晶元的另一侧接触,以校正晶元的竖向位置;所述校正元件沿第一方向开设有至少两个所述校正缺口,所述第一固定组件及所述第二固定组件在第一方向上能固定至少两个晶元,且被固定的至少两个晶元与至少两个所述校正缺口的间距一致。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东阿达智能装备有限公司,其通讯地址为:528251 广东省佛山市南海区狮山镇南海软件科技园内佛高科技智库中心A座科研楼A605-2室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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