买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜四川上特科技有限公司申请的专利一种晶圆片清洗组件、清洗装置及清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114769200B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210445227.1，技术领域涉及：B08B3/02；该发明授权一种晶圆片清洗组件、清洗装置及清洗方法是由胡仲波;冯永;李健儿;蒋红全;周建余设计研发完成，并于2022-04-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆片清洗组件、清洗装置及清洗方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆片清洗组件、清洗装置及清洗方法，清洗组件用于清洗晶圆片，包括清洗池、清洗槽、多个水喷头。清洗槽左右两端连接于清洗池内壁，清洗槽底部悬空，且底部开口设置；水喷头形状为圆盘状，连接有水管，水喷头两面均设有喷水孔，清洗槽内间隔设有喷头卡槽、晶圆片卡槽，多个水喷头依次排列于喷头卡槽内；若干晶圆片依次排列于晶圆片卡槽内。将浸泡式清洗改成喷洒式清洗，可以清洗每一个晶圆片，并且便于污水快速流走，可以极大的提高晶圆片的清洗效果和清洗效率。

本发明授权一种晶圆片清洗组件、清洗装置及清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆片清洗装置，其特征在于，包括：晶圆片清洗组件，用于清洗晶圆片（4），包括清洗池（1）、清洗槽（2）、多个水喷头（3），清洗槽（2）左右两端连接于清洗池（1）内壁，清洗槽（2）底部悬空，且底部开口设置，水喷头（3）形状为圆盘状，连接有水管（31），水喷头（3）两面均设有喷水孔，多个水喷头（3）依次排列于清洗槽（2）内，若干晶圆片（4）依次排列于清洗槽（2）内，且间隔、平行设于两个水喷头（3）之间，清洗槽（2）由前后对称的两个卡板（21）组成，从上到下，两个卡板（21）的间距依次缩小，卡板（21）内壁间隔设有喷头卡槽（22）、晶圆片卡槽（23），分别与水喷头（3）、晶圆片（4）匹配；夹持组件（6），连接于转移机构（5），用于夹持若干晶圆片（4），将晶圆片（4）放入清洗槽（2）或从清洗槽（2）内取出；转移机构（5），位于清洗池（1）外端，用于将夹持组件（6）转移至清洗池（1）或从清洗池（1）内转移出去，转移机构（5）包括转动组件（51）、平移板（52）、移动框（53）和两个并排设置的蜗杆（54），转动组件（51）从上到下依次包括齿轮（513）、连杆（512）和涡轮（511），蜗杆（54）沿左右方向设置，两端通过轴承连接于支撑板（55），且其中一端连接有转动电机（56），蜗杆（54）上方设有支撑条（57），支撑条（57）两端连接于支撑板（55），平移板（52）可沿左右方向滑动配合于支撑条（57），移动框（53）可沿前后方向滑动配合于平移板（52），移动框（53）左侧或右侧内壁设有一齿条（531），涡轮（511）位于两个蜗杆（54）之间，且涡轮（511）、蜗杆（54）啮合，齿轮（513）位于移动框（53）内，且齿轮（513）与齿条（531）啮合，平移板（52）包括底板（521）和位于底板（521）顶部左右两侧的限位条（522），两个支撑条（57）内壁设有长条形滑槽（571），底板（521）滑动配合于长条形滑槽（571）内，连杆（512）贯穿连接底板（521），且与底板（521）转动配合，两个限位条（522）内壁设有限位滑槽（523），移动框（53）滑动配合于限位滑槽（523）内，移动框（53）顶部设有立柱（532），立柱（532）朝清洗池（1）方向设有水平支杆（533），水平支杆（533）依次设有若干夹持组件（6）；夹持组件（6）包括升降杆（61）和连接于升降杆（61）底部的柔性夹爪（62），柔性夹爪（62）通过充气或放气的方式来夹持晶圆片（4）；清洗装置还包括输送机构（71）和位于输送机构（71）上的收纳筐（72），输送机构（71）与清洗池（1）外侧，收纳筐（72）用于承接夹持组件（6）上的晶圆片（4）；收纳筐（72）左右方向的截面与清洗槽（2）相同，收纳筐（72）底部封闭设置，内壁设有若干晶圆片卡槽（23）。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人四川上特科技有限公司，其通讯地址为：629201 四川省遂宁市射洪县河东大道88号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。