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龙图腾网恭喜合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利一种玻璃基板在线曝光吸附平台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221707887U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202322818511.1，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种玻璃基板在线曝光吸附平台是由程强设计研发完成，并于2023-10-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种玻璃基板在线曝光吸附平台在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种玻璃基板在线曝光吸附平台，属于玻璃基板曝光技术领域，包括吸盘组件、曝光单元、Z轴组件和固定设置的滚轮输送组件，所述吸盘组件包括与负压设备连通且用于吸附玻璃基板的吸盘；曝光单元设置在所述吸盘组件的上方；Z轴组件用于驱动所述吸盘组件升降；所述滚轮输送组件包括用于输送玻璃基板的若干输送滚轮；所述Z轴组件驱动所述吸盘升高至高位时，所述输送滚轮顶端的高度低于所述吸盘上表面的高度，所述Z轴组件驱动所述吸盘下降至低位时，所述输送滚轮顶端的高度高于所述吸盘上表面的高度。本实用新型一方面，降低了实际的曝光成本，另一方面，可以节省曝光设备的占地空间，同时也能很好地融入到玻璃基板的生产线内。

本实用新型一种玻璃基板在线曝光吸附平台在权利要求书中公布了：1.一种玻璃基板在线曝光吸附平台，其特征在于，包括：吸盘组件1，所述吸盘组件1包括与负压设备连通且用于吸附玻璃基板的吸盘11；曝光单元2，设置在所述吸盘组件1的上方；Z轴组件3，用于驱动所述吸盘组件1升降；以及固定设置的滚轮输送组件4，所述滚轮输送组件4包括用于输送玻璃基板的若干输送滚轮41；所述Z轴组件3驱动所述吸盘11升高至高位时，所述输送滚轮41顶端的高度低于所述吸盘11上表面的高度，所述Z轴组件3驱动所述吸盘11下降至低位时，所述输送滚轮41顶端的高度高于所述吸盘11上表面的高度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥芯碁微电子装备股份有限公司，其通讯地址为：230088 安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。