恭喜台积电(中国)有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司朱宏华获国家专利权
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龙图腾网恭喜台积电(中国)有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利用于转移半导体晶圆盒的工作台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221708687U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420316362.0,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型用于转移半导体晶圆盒的工作台是由朱宏华;贺国平;戴志荣设计研发完成,并于2024-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于转移半导体晶圆盒的工作台在说明书摘要公布了:本申请实施例提供一种用于转移半导体晶圆盒的工作台,工作台包括:支撑部、转向组件和限位组件。转向组件通过固定部固定于支撑面上,基座设置于固定部上并绕第一方向可转动设置,第一方向和支撑面相交。基座用于放置晶圆盒并带动晶圆盒转动。限位组件包括固定于基座的限位部和固定于固定部的锁止部。至少两个锁止部设置于第一位置和第二位置,以使基座转动时,在第一位置和或第二位置,限位部和锁止部相互卡扣配合。本申请实施例中,转动晶圆盒的过程中,晶圆盒随着基座进行转动,晶圆盒相对于基座不转动,从而间接减少了晶圆盒底与工作台因摩擦而产生碎屑导致晶圆污染的可能性,提高了晶圆生产的良率。
本实用新型用于转移半导体晶圆盒的工作台在权利要求书中公布了:1.一种用于转移半导体晶圆盒的工作台,其特征在于,所述工作台包括:支撑部,具有支撑面;转向组件,设置于所述支撑面,所述转向组件包括固定部与基座,所述固定部与所述支撑面固定连接,所述基座用于放置承载工具,且所述基座绕第一方向可转动设置,所述第一方向和所述支撑面相交;限位组件,包括固定于基座的限位部和固定于所述固定部的锁止部,至少两个所述锁止部设置于第一位置和第二位置,以使所述基座转动时,在所述第一位置和或所述第二位置,所述限位部和所述锁止部相互卡扣配合。
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