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恭喜中国科学技术大学赵东锋获国家专利权

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龙图腾网恭喜中国科学技术大学申请的专利用于多极杆离子阱和离子导向装置的射频电源获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110571127B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910947887.8,技术领域涉及:H01J49/02;该发明授权用于多极杆离子阱和离子导向装置的射频电源是由赵东锋;胡高明;陈旸设计研发完成,并于2019-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

用于多极杆离子阱和离子导向装置的射频电源在说明书摘要公布了:一种用于多极杆离子阱和离子导向装置的射频电源,包括信号源、功率放大器、射频共振电路、监测电路、偏置电路和负载,其中:信号源用于提供射频信号;功率放大器的用于对信号源提供的射频信号进行放大,生成驱动后续电路的高功率信号;射频共振电路,用于对功率放大器输出的高功率信号进行谐振放大,并输出给负载;监测电路用于监测经过射频共振电路谐振放大之后的信号;偏置电路用于对传输至负载的射频高压施加直流偏置电压;负载为多极杆离子阱或离子导向装置。本发明提供的射频电源,射频共振电路采用串联谐振回路,射频信号直接输入到谐振回路中,能量传输效率高,具有较高的品质因数,同时只有一条主回路,使得结构更简单。

本发明授权用于多极杆离子阱和离子导向装置的射频电源在权利要求书中公布了:1.一种用于多极杆离子阱或离子导向装置的射频电源,其特征在于,该电源包括信号源100、功率放大器200、射频共振电路300、监测电路400、偏置电路500和负载600,其中:信号源100,用于提供一个幅度和频率可调的射频信号;功率放大器200,输入端与信号源100的输出端相连接,用于对信号源100提供的射频信号进行放大,生成用以驱动后续电路的高功率信号;射频共振电路300,输入端与功率放大器200的输出端相连接,第一输出端与负载600的正极性相连接,第二输出端与负载600的负极性相连接,用于对功率放大器200输出的高功率信号进行谐振放大,生成更高幅值的射频信号,并输出给负载600;其中,所述射频共振电路300包括第一可变电阻301、第一电感3021、第二电感3022、第二可变电阻303和可变电容304,其中:在第一可变电阻301、第一电感3021与可变电容304之间形成了第一串联谐振电路回路;在第二可变电阻303、第二电感3022和可变电容304之间形成了第二串联谐振电路回路;第一可变电阻301的第一端口作为射频共振电路300的输入端,与功率放大器200的输出端相连接,第一可变电阻301的第二端口与第一电感3021的第一端口相连接;可变电容304第一端口作为射频共振电路300的第一输出端口,可变电容304第二端口作为射频共振电路300的第二输出端口;第一电感3021的第二端口与可变电容304的第一端口相连接,可变电容304的第二端口与第二电感3022的第一端口相连接,第二电感3022的第二端口与第二可变电阻303的第一端口相连接,第二可变电阻303的第二端口与地相连接;第一可变电阻301和第二可变电阻303调节第一和第二串联谐振电路回路的品质因数,使得射频共振电路300的两个输出端达到平衡;可变电容304调节第一和第二串联谐振电路回路的容值,使得射频共振电路300达到谐振的条件;监测电路400,第一输入端与射频共振电路300的第一输出端相连接,第二输入端与射频共振电路300的第二输出端相连接,用于监测经过射频共振电路300谐振放大之后的信号,可以直观的获得输送至负载600的射频高压信号的幅值和频率,同时也可以监测电源和负载间的容性匹配状态;其中,监测电路400包括第一监测电路401和第二监测电路402,其中:所述第一监测电路401包括第一电容4011、第二电容4012以及第一监测输出端口4013,其中:第一电容4011的第一端口作为第一监测电路401的输入端口,与射频共振电路300的第一输出端相连;第二端口与第二电容4012的第一端口以及第一监测输出端口4013相连接;第二电容4012的第二端口与地相连接;所述第二监测电路402包括第三电容4021、第四电容4022以及第二监测输出端口4023,其中:第三电容4021的第一端口为第二监测电路402的输入端口,与射频共振电路300的第二输出端相连接;第三电容4021的第二端口与第四电容4022的第一端口和第二监测输出端口4023相连接;第四电容4022的第二端口与地相连接;第一监测电路401中的第一电容4011和第二监测电路402中的第三电容4021的容值相等;第一监测电路401中的第二电容4012和第二监测电路402中的第四电容4022的容值相等;第二电容4012和第四电容4022的容值是第一电容4011和第三电容4021的容值的10至100倍;偏置电路500,第一输入端与射频共振电路300的第一输出端相连接,第二输入端与射频共振电路300的第二输出端相连接,用于对传输至负载600的射频高压施加直流偏置电压;其中,所述偏置电路500包括:第五电容501、第六电容502、第一电阻503、第二电阻504和高压电源505,其中:第五电容501的第一端口作为偏置电路500的第一输入端,与射频共振电路300的第一输出端和第一监测电路401的输入端相连接;第五电容501的第二端口作为偏置电路500的第一输出端,与负载600的正极性端相连接;第六电容502的第一端口作为偏置电路500的第二输入端,与射频共振电路300的第二输出端和监测电路402的第二输入端相连接,此端为偏置电路500的第二输入端;第六电容502的第二端口作为偏置电路500的第二输出端,与负载600的负极性端、第二电阻504的第一端口相连接;第五电容501和第六电容502的容值要相等;第二电阻504的第二端口与高压电源505的负极性端相连接;第一电阻503的第一端口与偏置电路500的第一输出端相连接,第二端口与高压电源505的正输入端相连接;高压电源505的负输入端与第二电阻504的第二端口相连接,第一电阻503的第二端口与高压电源505的正极性端相连接;高压电源505具有一正极性端和一负极性端;第一电阻503和第二电阻504的阻值要相同;负载600为多极杆离子阱或离子导向装置。

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