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龙图腾网恭喜龙鳞(深圳)新材料科技有限公司申请的专利PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111218674B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010157431.4，技术领域涉及：C23C16/505；该发明授权PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置是由邓必龙;郑利勇设计研发完成，并于2020-03-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置在说明书摘要公布了：本发明涉及化学气相沉积技术领域，具体公开了一种PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置，该PECVD射频馈入电极系统包括射频电极片、第一电极、第二电极和两个通断控制组件，第一电极与第二电极的沿延伸方向呈夹角设置；通断控制组件包括静触端、动触端和驱动件，两个静触端均与射频电极片连接，且两个动触端分别与第一电极和第二电极连接，驱动件驱动动触端在第一位置和第二位置之间切换，可实现动触端与静触端连接或分离，因此通过对两个通断控制组件的动触端与静触端进行控制，无需拆装，即可使射频电极片与不同延伸方向第一电极或第二电极的单独连通，可有效提高工作效率。

本发明授权PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置在权利要求书中公布了：1.一种PECVD射频馈入电极系统，其特征在于，包括射频电极片4、第一电极、第二电极和两个通断控制组件，所述第一电极的延伸方向与所述第二电极的延伸方向呈夹角设置；所述通断控制组件包括静触端1、动触端2和驱动件，两个所述静触端1均与所述射频电极片4连接，且两个所述动触端2分别与所述第一电极和所述第二电极连接，或者两个所述动触端2均能与所述射频电极片4连接，且两个所述静触端1分别与所述第一电极和第二电极连接；所述动触端2具有第一位置和第二位置，所述驱动件与所述动触端2连接，以驱动所述动触端2在所述第一位置和所述第二位置之间切换，当所述动触端2位于所述第一位置时，所述动触端2与所述静触端1连接，当所述动触端2位于所述第二位置时，所述动触端2与所述静触端1分离。

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