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龙图腾网恭喜昂坤视觉(北京)科技有限公司申请的专利一种晶圆检测方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115184376B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210910674.X，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种晶圆检测方法和装置是由王林梓;苏永鹏;周尧;赵政朋;苏亮;马铁中设计研发完成，并于2022-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆检测方法和装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆检测方法和装置，检测方法包括以下步骤：正面检测步骤，控制第一光源组、第二光源组分别选择性发光生成第一组合光，控制第一镜头组获取在第一组合光照射下的待检测晶圆的正面检测图像；背面检测步骤，控制第二光源组、第二光源组分别选择性发光生成第二组合光，控制第二镜头组获取在第二组合光照射下的待检测晶圆的背面检测图像；表面缺陷获取步骤，根据正面检测图像和背面检测图像获取待检测晶圆的表面缺陷；在正面检测步骤中，第二光源组为背光源；在背面检测步骤中，第一光源组为背光源。第一光源组和第二光源组配合使用，无需对第一检测模块和第二检测模块设置背光源，提高了检测效率，减少了配件数量，节省了检测成本。

本发明授权一种晶圆检测方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测方法，其特征在于，所述晶圆检测方法采用晶圆检测装置对待检测晶圆进行检测，所述晶圆检测装置包括：检测机架；晶圆载台，设置在所述检测机架上，所述晶圆载台为透明结构；第一检测模块，包括第一镜头组和第一光源组，设置在所述检测机架上且位于所述晶圆载台的上方；第二检测模块，包括第二镜头组和第二光源组，设置在所述检测机架上且位于所述晶圆载台的上方；所述晶圆检测方法包括以下步骤：正面检测步骤，控制所述第一光源组、所述第二光源组分别选择性发光生成第一组合光，控制所述第一镜头组获取在第一组合光照射下的待检测晶圆的正面检测图像；背面检测步骤，控制所述第二光源组、所述第二光源组分别选择性发光生成第二组合光，控制所述第二镜头组获取在第二组合光照射下的所述待检测晶圆的背面检测图像；表面缺陷获取步骤，根据所述正面检测图像和所述背面检测图像获取所述待检测晶圆的表面缺陷；其中，在所述正面检测步骤中，所述第二光源组为背光源；在所述背面检测步骤中，所述第一光源组为背光源。

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