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龙图腾网恭喜无锡星微科技有限公司杭州分公司申请的专利具有角度调整机构的反馈系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118269029B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410712900.2，技术领域涉及：B25B11/00；该发明授权具有角度调整机构的反馈系统是由姜燕燕;沈恒宇设计研发完成，并于2024-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有角度调整机构的反馈系统在说明书摘要公布了：本发明公开了具有角度调整机构的反馈系统，属于半导体检测技术领域，该调整机构包括平台，平台连接有调节机构，平台上设有载物板，载物板上相对设置有夹紧块，载物板设有使夹紧块相向运动的驱动机构，夹紧块相对一侧设有卡轮，驱动机构包括转动设置于载物板下方的螺杆，载物板设有滑槽，夹紧块设于滑槽内且与有与螺杆配合连接，卡轮内配合设置有第一活塞，第一活塞底部设有滑动头，载物板上端面设有凹槽，凹槽沿夹紧块滑移方向延伸，滑动头位于凹槽内，凹槽底面具有斜面，斜面向载物板中心处升高，卡轮侧壁设有第一气孔。本发明能实现晶圆稳定吸附，同时具有自洁和自润滑功能，提高了检测效率。

本发明授权具有角度调整机构的反馈系统在权利要求书中公布了：1.具有角度调整机构的反馈系统，包括：平台（1），其特征是：所述平台（1）连接有调节机构（2），所述平台（1）上设有载物板（3），所述载物板（3）上相对设置有夹紧块（4），所述载物板（3）设有使所述夹紧块（4）相向运动的驱动机构，所述夹紧块（4）相对一侧设有卡轮（5），所述卡轮（5）内配合设置有第一活塞（50），所述第一活塞（50）底部设有滑动头（51），所述载物板（3）上端面设有凹槽（52），所述凹槽（52）沿所述夹紧块（4）滑移方向延伸，所述滑动头（51）位于所述凹槽（52）内，所述凹槽（52）底部具有斜面（53），所述斜面（53）向所述载物板（3）中心处升高，所述卡轮（5）侧壁设有第一气孔（54），所述滑动头（51）在所述凹槽（52）内滑移并持续接触所述斜面（53），使得所述滑动头（51）带动所述第一活塞（50）在所述卡轮（5）内向上滑移，所述第一气孔（54）位于所述第一活塞（50）上方，所述第一气孔（54）在所述卡轮（5）侧壁环绕设置，所述第一气孔（54）朝向所述载物板（3）中心设置，所述第一活塞（50）与所述卡轮（5）顶部之间连接有复位弹簧（55）。

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