恭喜北京烁科中科信电子装备有限公司罗才旺获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京烁科中科信电子装备有限公司申请的专利一种离子注入机用离子源坩埚结构及离子源获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221727053U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420098272.9，技术领域涉及：H01J37/08；该实用新型一种离子注入机用离子源坩埚结构及离子源是由罗才旺;彭立波;游俊建设计研发完成，并于2024-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子注入机用离子源坩埚结构及离子源在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种离子注入机用离子源坩埚结构，包括坩埚和用于加热坩埚的加热部件，所述坩埚连接有进气管和出气管，所述出气管延伸至离子源的弧室。一种离子注入机用离子源，包括高温区和弧室，还包括上述的离子注入机用离子源坩埚结构。本实用新型可以通过进气管向坩埚内部输送特定载气或反应气体，将高温固态或液态物质通过气体反应变为气态物质，通过出气管输送到离子源的弧室；或者通过载气携带，将低饱和蒸汽压气态物质，通过出气管带入到离子源的弧室；然后进一步电离得到难熔难蒸发固态元素的离子束流，可以提升样品使用寿命，减少固态污染物沉积，降低坩埚蒸发固态物质所需要的温度，提高离子源使用寿命和维护周期。
本实用新型一种离子注入机用离子源坩埚结构及离子源在权利要求书中公布了：1.一种离子注入机用离子源坩埚结构，其特征在于：包括设于离子源的高温区11的坩埚2和用于加热坩埚2的加热部件3，所述坩埚2连接有进气管21和出气管22，所述出气管22延伸至离子源的弧室12。
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