恭喜东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司战东北获国家专利权
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龙图腾网恭喜东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利旋转臂及半导体检测设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221723957U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420389815.2,技术领域涉及:F16M11/20;该实用新型旋转臂及半导体检测设备是由战东北;郝琪设计研发完成,并于2024-02-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本旋转臂及半导体检测设备在说明书摘要公布了:本申请属于半导体制造技术领域,尤其是涉及一种旋转臂及半导体检测设备。该旋转臂包括旋转结构、调节结构及套筒结构;旋转结构穿设于套筒结构并用于连接工具,旋转结构能够带动工具转动;调节结构环绕旋转结构布置并设置于套筒结构远离工具的一侧,调节结构用于多方向调节旋转结构的位置以带动工具改变位置。其中,调节结构具备多个方向上的调节自由度,以微调旋转结构的位置,进而补偿因机械结构、装配条件等因素引起的误差,确保工具处于合适的作业位置。
本实用新型旋转臂及半导体检测设备在权利要求书中公布了:1.一种旋转臂,其特征在于,包括旋转结构100、调节结构200及套筒结构300;所述旋转结构100穿设于所述套筒结构300并用于连接工具400,所述旋转结构100能够带动所述工具400转动;所述调节结构200环绕所述旋转结构100布置并设置于所述套筒结构300远离所述工具400的一侧,所述调节结构200用于多方向调节所述旋转结构100的位置以带动所述工具400改变位置。
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