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恭喜矽电半导体设备(深圳)股份有限公司吴贵阳获国家专利权

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龙图腾网恭喜矽电半导体设备(深圳)股份有限公司申请的专利一种晶粒回收装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221727060U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202323179838.5,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种晶粒回收装置是由吴贵阳设计研发完成,并于2023-11-23向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶粒回收装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶粒回收装置,包括回收盒和回收吸嘴,回收盒的一侧连通有回收管、另一侧连通有真空气管,回收盒内竖直设有过滤网,过滤网将回收盒内部分隔为回收腔和过滤腔,真空气管的连接在过滤腔对应的侧壁上。回收吸嘴设置在回收管的末端。应用上述实施例的实用新型,可以自动对叠晶、立晶和脱落晶粒的异常进行去除,代替人工,提高回收效率,具体地,本实用新型利用过滤网将回收盒分为回收腔和过滤腔两部分,过滤网能够有效阻挡晶粒和其他杂物进入真空气管,避免真空气管堵塞,保证回收工序的正常进行。

本实用新型一种晶粒回收装置在权利要求书中公布了:1.一种晶粒回收装置,其特征在于,包括:回收盒101,所述回收盒101的一侧连通有回收管103、另一侧连通有真空气管104,所述回收盒101内竖直设有过滤网105,所述过滤网105将所述回收盒内部分隔为回收腔106和过滤腔107,所述真空气管104的连接在所述过滤腔107对应的侧壁上;以及回收吸嘴102,所述回收吸嘴102设置在所述回收管103的末端。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人矽电半导体设备(深圳)股份有限公司,其通讯地址为:518172 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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