恭喜深圳平湖实验室崔新春获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳平湖实验室申请的专利一种用于金刚石生长的工作台及金刚石生长装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221720922U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202323266754.5,技术领域涉及:C23C16/458;该实用新型一种用于金刚石生长的工作台及金刚石生长装置是由崔新春;万玉喜;胡浩林;曾威设计研发完成,并于2023-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于金刚石生长的工作台及金刚石生长装置在说明书摘要公布了:本申请提供了一种用于金刚石生长的工作台及金刚石生长装置,涉及金刚石材料生长技术领域,旨在能够高质量、快速率、大尺寸的生长金刚石材料。所述工作台包括样品托和承载装置。样品托用于承载衬底。样品托和衬底设置于用于提供微波等离子球体的反应腔室中。承载装置与样品托连接,用于沿第一方向和或第二方向移动样品托,以使衬底相对反应腔室中激发出的等离子球体沿第一方向和或第二方向移动,第一方向和第二方向交叉。通过承载装置第一方向和或第二方向移动,从而带动衬底的移动,使得电离后的等离子体能够在衬底的各个位置处沉积,衬底的尺寸不再局限于等离子球体的大小,能够根据更大的衬底生长出更大尺寸的金刚石材料。
本实用新型一种用于金刚石生长的工作台及金刚石生长装置在权利要求书中公布了:1.一种用于金刚石生长的工作台,其特征在于,包括:样品托,所述样品托用于承载衬底,所述样品托和所述衬底设置于用于提供微波等离子球体金刚石生长环境的反应腔室中;承载装置,连接所述样品托,用于沿第一方向和或第二方向移动所述样品托,以使所述衬底相对所述反应腔室中激发出的等离子球体沿第一方向和或第二方向移动;所述第一方向和所述第二方向交叉。
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