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龙图腾网恭喜湖北锦瓷新材料科技有限公司申请的专利一种降低碳化硅晶体应力的退火装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221721005U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323296969.1，技术领域涉及：C30B33/02；该实用新型一种降低碳化硅晶体应力的退火装置是由李天运;邱艳丽设计研发完成，并于2023-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种降低碳化硅晶体应力的退火装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种降低碳化硅晶体应力的退火装置，包括：控制台、气瓶和旋转送气盒，控制台顶部设有一组底座，底座上表面向下凹陷形成一组放置槽，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过设置气瓶、送气管、控制阀以及旋转送气盒，可将纯净氢气输送到退火管内部，从而降低碳化硅晶体表面与外界环境氧化产生反应，降低碳化硅晶体表面应力，防止晶体开裂以及晶体污染，通过设置旋转送气扇、滑槽一、滑槽二以及万向球，可将纯净氢气匀速均匀地导入进退火管内部，保证了退火管内部气氛的稳定，防止碳化硅表面氧化和污染，保证晶体的完整性和性能。

本实用新型一种降低碳化硅晶体应力的退火装置在权利要求书中公布了：1.一种降低碳化硅晶体应力的退火装置，包括：控制台100、气瓶170和旋转送气盒160，其特征在于：所述控制台100顶部设有一组底座110，所述底座110上表面向下凹陷形成一组放置槽；所述放置槽内部设有一组退火管120，所述退火管120左右两侧下方设有两组支撑板，所述控制台100左侧设有一组气瓶箱130，所述气瓶箱130内部设有一组气瓶170，所述气瓶170顶部设有一组喷气嘴；所述喷气嘴顶部设有一组送气管150，所述喷气嘴左侧安装有一组控制阀140，所述退火管120内部顶部安装有一组旋转送气盒160，所述旋转送气盒160内部开设有一组旋转腔，所述旋转腔内部设有一组旋转送气扇190。

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