恭喜苏州赛森电子科技有限公司伍志军获国家专利权
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龙图腾网恭喜苏州赛森电子科技有限公司申请的专利一种硅片切割机切削液冷却装置及冷却方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN108858832B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201810977876.X,技术领域涉及:B28D5/00;该发明授权一种硅片切割机切削液冷却装置及冷却方法是由伍志军设计研发完成,并于2018-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片切割机切削液冷却装置及冷却方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种硅片切割机切削液冷却装置及冷却方法,具体涉及硅片加工领域,包括:进水管道;制冷机构,该制冷机构与进水管道连接;储水机构,该储水机构包括储水桶和入流管道,入流管道一端连接制冷机构,另一端连接储水桶,储水桶内设置有温度检测器三和制冷泵;出水管道,该出水管道设置在储水桶上。本申请通过在储水桶内设置温度检测器三和制冷泵,对储水桶内的切削液的温度进行监控和维持,使储水桶内的切削液维持在低温状态。
本发明授权一种硅片切割机切削液冷却装置及冷却方法在权利要求书中公布了:1.一种硅片切割机切削液冷却装置,包括:进水管道(10);制冷机构(20),所述制冷机构(20)与所述进水管道(10)连接;所述制冷机构(20)包括:分流阀一(201),所述分流阀一(201)设置在所述进水管道(10)的末端,所述分流阀一(201)上设置有至少两条分流管道一(202);冷水塔(207),所述冷水塔(207)设置在所述分流管道一(202)末端;换向阀(212),所述换向阀(212)与所述冷水塔(207)连通,所述换向阀(212)与所述冷水塔(207)之间设置有温度检测器二(213);回水管(215),所述回水管(215)的两端分别连接所述换向阀(212)的另一出口和所述进水管道(10);所述冷水塔(207)的出水管上设置有温度检测器一(211)和分流阀二(208),所述分流阀二(208)上设置有至少两条分流管道二(209),所述分流管道二(209)上设置有冷水机(210);所述分流管道一(202)内设置有涡流冷却器(204);储水机构(30),所述储水机构(30)包括储水桶(301)和入流管道(308),所述入流管道(308)一端连接所述制冷机构(20),另一端连接所述储水桶(301),所述储水桶(301)内设置有温度检测器三(304)和制冷泵(305);出水管道(40),所述出水管道(40)设置在所述储水桶(301)上;所述换向阀(212)的其中一个出口与所述入流管道(308)连接。
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