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恭喜均华精密工业股份有限公司石敦智获国家专利权

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龙图腾网恭喜均华精密工业股份有限公司申请的专利高产能的晶粒接合装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113363177B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010144458.X,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权高产能的晶粒接合装置是由石敦智;林语尚;陈世伟;吴冠陞设计研发完成,并于2020-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。

高产能的晶粒接合装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种高产能的晶粒接合装置,包含:供应取放模块用以将供应模块上至少一晶粒运送至转承台;旋转模块包括具有复数粘晶取放单元的复数粘晶取放模块,粘晶取放单元以一中心为圆心呈放射状分布且与中心的距离相等,粘晶取放单元以中心为圆心旋转运动,相邻二粘晶取放模块间以中心为圆心具有一第一夹角,每一粘晶取放模块的相邻二粘晶取放单元间以中心为圆心具有一第二夹角,第一夹角与第二夹角相同或不相同;沾胶模块供一粘晶取放模块的复数晶粒同时沾胶;由定位视觉撷取模块对已沾胶的复数晶粒同时定位。

本发明授权高产能的晶粒接合装置在权利要求书中公布了:1.一种高产能的晶粒接合装置,其特征在于,包含:一旋转模块,其包括复数粘晶取放模块,每一该粘晶取放模块具有复数粘晶取放单元用于拾取并运送晶粒,该复数粘晶取放单元以一中心为圆心呈放射状分布且每一该粘晶取放单元与该中心的距离相等,该复数粘晶取放单元以该中心为圆心旋转,相邻二该粘晶取放模块之间以该中心为圆心具有一第一夹角,每一该粘晶取放模块的相邻二该粘晶取放单元之间以该中心为圆心具有一第二夹角,该第一夹角与该第二夹角相同或不同;一沾胶模块,设置于该旋转模块下方,该沾胶模块具有复数沾胶单元,该复数沾胶单元分离设置,该旋转模块以该中心为圆心旋转后,任一该粘晶取放模块的各该粘晶取放单元的投影位置对应于该复数沾胶单元的位置,用以提供粘剂以供任一该粘晶取放模块的复数该粘晶取放单元所拾取的复数该晶粒同时沾胶;以及一定位视觉撷取模块,其设置于该沾胶膜组的一侧,该定位视觉撷取模块具有二定位视觉撷取单元,该旋转模块以该中心为圆心旋转后,任一该粘晶取放模块的各该粘晶取放单元的位置与该二定位视觉撷取单元的位置相对应,其中已沾胶的复数该晶粒移动至对应于该二定位视觉撷取单元的位置时,该二定位视觉撷取单元分别对相对应的该晶粒的不同位置进行定位。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人均华精密工业股份有限公司,其通讯地址为:中国台湾新北市;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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