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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利静电卡盘、支承台及等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112053930B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010493660.3，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权静电卡盘、支承台及等离子体处理装置是由高山将步;佐佐木康晴设计研发完成，并于2020-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本静电卡盘、支承台及等离子体处理装置在说明书摘要公布了：提供一种用于防止副产物的附着的静电卡盘、支承台及等离子体处理装置。提供一种用于对基板及边缘环进行支承的静电卡盘，包括：第一区域，具有第一上表面，并且被构成为对被放置在所述第一上表面上的基板进行保持；第二区域，具有第二上表面，以包围所述第一区域的方式在周向上延伸，并且被构成为对被放置在该第二上表面上的边缘环进行支承；电极，设置在所述第二区域；以及具有伸缩性的部件，其中，所述第一上表面和所述第二上表面沿着单一的平坦面延伸，在所述第一区域与所述第二区域之间提供将所述第一上表面与所述第二上表面彼此分离的空间，所述具有伸缩性的部件布置在所述边缘环的容纳在所述空间内的部分与所述静电卡盘之间。

本发明授权静电卡盘、支承台及等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种用于对基板及具有第一部分和第二部分的边缘环进行支承的静电卡盘，包括：第一区域，具有第一上表面，并且被构成为对被放置在所述第一上表面上的基板进行保持；第二区域，具有第二上表面，以包围所述第一区域的方式在周向上延伸，并且被构成为对被放置在该第二上表面上的边缘环进行支承，所述第二区域和所述第一区域由相同的介电质材料形成，所述边缘环的所述第二部分位于所述第二上表面上；电极，设置在所述第二区域；以及具有伸缩性的片状部件，其中，所述第一上表面和所述第二上表面沿着单一的平坦面延伸，在所述第一区域与所述第二区域之间提供将所述第一上表面与所述第二上表面彼此分离的槽，所述边缘环的所述第一部分以使所述第一部分的上表面低于所述第二部分的下表面的方式容纳在所述槽内，所述第一部分与所述第二部分通过环形形状的垂直壁连接，所述具有伸缩性的片状部件布置在所述边缘环的所述第一部分与所述静电卡盘之间。

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