恭喜北京北方华创微电子装备有限公司郭开龙获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利渗透剂及其制备方法、陶瓷件表面探伤检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113514474B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110731434.9，技术领域涉及：G01N21/91；该发明授权渗透剂及其制备方法、陶瓷件表面探伤检测方法是由郭开龙;符雅丽;郑友山;王宏伟设计研发完成，并于2021-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本渗透剂及其制备方法、陶瓷件表面探伤检测方法在说明书摘要公布了：本发明实施例提供一种渗透剂及其制备方法、陶瓷件表面探伤检测方法，渗透剂用于陶瓷件表面缺陷探伤检测，该渗透剂的组分包括荧光染料、轻油、石油烃混合物、矿物油和表面活性剂。本发明实施例提供的渗透剂及其制备方法、陶瓷件表面探伤检测方法的技术方案，可以显著提高荧光染料吸附效果以及对陶瓷件的渗透效果，同时可以提高荧光染料在陶瓷件上的渗透深度，从而可以提高检测结果准确性，以及扩大检测范围，优化了检测效果。
本发明授权渗透剂及其制备方法、陶瓷件表面探伤检测方法在权利要求书中公布了：1.一种渗透剂，用于半导体设备中的陶瓷件表面缺陷探伤检测，其特征在于，所述渗透剂的组分包括荧光染料、轻油、石油烃混合物、矿物油和表面活性剂；所述轻油的质量分数为15％-30％；所述矿物油的质量分数为20％-40％；所述石油烃混合物的质量分数为15％-30％；所述荧光染料包括还原红41；所述石油烃混合物包括二乙二醇丁醚；所述轻油包括石脑油，所述石脑油作为有机溶剂；所述矿物油包括液体石蜡。
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