恭喜福建睿创光电科技有限公司陈彪获国家专利权
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龙图腾网恭喜福建睿创光电科技有限公司申请的专利一种自制光刻板的固定夹具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221746435U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420367055.5,技术领域涉及:G03F7/20;该实用新型一种自制光刻板的固定夹具是由陈彪;方志辉;李广伟设计研发完成,并于2024-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种自制光刻板的固定夹具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种自制光刻板的固定夹具,包括基板,基板中部设有孔部,所述基板位于孔部的两侧滑动设有滑座,所述滑座靠近孔部的一端设有光刻板托板以及用于固定光刻板的固定组件,基板上还设有驱动滑座沿孔部径向滑动的调节组件,本实用新型的固定家具可用于夹持固定不同大小的自制相位型光刻板,保证自制光刻板曝光过程的稳定。
本实用新型一种自制光刻板的固定夹具在权利要求书中公布了:1.一种自制光刻板的固定夹具,其特征在于:包括基板(1),基板(1)中部设有孔部(2),所述基板(1)位于孔部(2)的两侧滑动设有滑座(3),所述滑座(3)靠近孔部(2)的一端设有光刻板托板(4)以及用于固定光刻板的固定组件,基板(1)上还设有驱动滑座(3)沿孔部(2)径向滑动的调节组件。
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