恭喜重庆工业职业技术学院莫东鸣获国家专利权
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龙图腾网恭喜重庆工业职业技术学院申请的专利一种可以温度调制的提拉法晶体生长装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221740511U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420362572.3,技术领域涉及:C30B15/20;该实用新型一种可以温度调制的提拉法晶体生长装置是由莫东鸣设计研发完成,并于2024-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可以温度调制的提拉法晶体生长装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种可以温度调制的提拉法晶体生长装置,包括籽晶轴转动机构、坩埚、加热器、保温罩、坩埚轴、炉体、第一温度传感器和第二温度传感器,坩埚、加热器和保温罩内至外依次位于所述炉体内侧,所述籽晶轴转动机构一端伸入所述坩埚内,坩埚轴连接在所述坩埚的底部,第一温度传感器用于测量晶体棒的温度,第二温度传感器用于测量坩埚壁的温度上。本实用新型的有益效果是,通过将第一温度传感器测量晶体棒的温度,第二温度传感器用于测量坩埚的炉壁温度,方便根据坩埚壁面和晶体棒温度差的大小,来选择加热器的加热波形、加热频率、幅值,抑制溶液内的热毛细对流的产生,抑制晶体生长条纹和裂缝,从而提高晶体生长质量,并减少能耗。
本实用新型一种可以温度调制的提拉法晶体生长装置在权利要求书中公布了:1.一种可以温度调制的提拉法晶体生长装置,其特征在于,包括籽晶轴转动机构(1)、坩埚(5)、加热器(6)、保温罩(7)、坩埚轴(8)、炉体(9)、第一温度传感器(11)、第二温度传感器(10)和动态温度调制系统(12),所述坩埚(5)、加热器(6)和保温罩(7)内至外依次位于所述炉体(9)内侧,所述籽晶轴转动机构(1)一端伸入所述坩埚(5)内,所述坩埚轴(8)连接在所述坩埚(5)的底部,所述第一温度传感器(11)用于测量提拉时形成的晶体棒(4)的温度,所述第二温度传感器(10)用于测量坩埚(5)的炉壁温度,所述加热器(6)、第一温度传感器(11)和第二温度传感器(10)分别与动态温度调制系统(12)电连接。
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