恭喜浙江宏禧科技有限公司吴秀珍获国家专利权
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龙图腾网恭喜浙江宏禧科技有限公司申请的专利掩膜版和蒸镀装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221740412U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202323162457.6,技术领域涉及:C23C14/04;该实用新型掩膜版和蒸镀装置是由吴秀珍;吴康敬;孙阳;孙扬设计研发完成,并于2023-11-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本掩膜版和蒸镀装置在说明书摘要公布了:本公开提供了一种掩膜版和蒸镀装置,属于半导体制造技术领域。该掩膜版包括:驱动组件、转轴、第一板体和多个第二板体,所述第一板体的中部活动套设在所述转轴外,各所述第二板体的侧边活动套设在所述转轴外,所述第一板体分别和各所述第二板体平行排布,所述第一板体和各所述第二板体沿所述转轴的轴向依次排布;所述第一板体的板面具有多个第一开口区,部分所述第二板体的板面具有多个第二开口区,不同所述第二板体的第二开口区的图案不同;所述驱动组件包括驱动件,所述驱动件用于驱动所述第二板体中的至少一个转动。本公开能改善掩膜版蒸镀的效率。
本实用新型掩膜版和蒸镀装置在权利要求书中公布了:1.一种掩膜版,其特征在于,所述掩膜版包括:驱动组件、转轴10、第一板体11和多个第二板体12,所述第一板体11的中部活动套设在所述转轴10外,各所述第二板体12的侧边活动套设在所述转轴10外,所述第一板体11分别和各所述第二板体12平行排布,所述第一板体11和各所述第二板体12沿所述转轴10的轴向依次排布;所述第一板体11的板面具有多个第一开口区110,至少部分所述第二板体12的板面具有多个第二开口区120,不同所述第二板体12的第二开口区120的图案不同;所述驱动组件包括驱动件22,所述驱动件22用于驱动所述第二板体12中的至少一个转动。
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