恭喜上海威缶电子科技有限公司李一航获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海威缶电子科技有限公司申请的专利半导体晶圆背部清洗装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN221747169U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202323470839.5,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型半导体晶圆背部清洗装置是由李一航设计研发完成,并于2023-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体晶圆背部清洗装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种半导体晶圆背部清洗装置,属于半导体晶圆清洗技术领域,具体包括外壳,从下至上依次具有化学品容纳腔、压缩机容纳腔以及晶圆背部清洗腔;晶圆固定单元,设置在所述晶圆背部清洗腔的上半段,下端面设置有多个固定半导体晶圆的卡爪;六爪形喷射单元,设置在所述晶圆背部清洗腔的下半段,用于均匀清洗被固定的所述半导体晶圆的背部;其中,所述六爪形喷射单元通过所述压缩机容纳腔的压缩机与所述化学品容纳腔内的化学品联通;所述晶圆固定单元的上端面与旋转电机连接。通过本申请的处理方案,解决了清洗不均匀不彻底的问题。
本实用新型半导体晶圆背部清洗装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体晶圆背部清洗装置,其特征在于,包括:外壳,从下至上依次具有化学品容纳腔、压缩机容纳腔以及晶圆背部清洗腔;晶圆固定单元,设置在所述晶圆背部清洗腔的上半段,下端面设置有多个固定半导体晶圆的卡爪;六爪形喷射单元,设置在所述晶圆背部清洗腔的下半段,用于均匀清洗被固定的所述半导体晶圆的背部;其中,所述六爪形喷射单元通过所述压缩机容纳腔的压缩机与所述化学品容纳腔内的化学品联通;所述晶圆固定单元的上端面与旋转电机连接。
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